[发明专利]多孔反应注塑化学机械抛光垫的制造方法有效
| 申请号： | 200610073713.6 | 申请日： | 2006-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1846939A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | D·B·詹姆斯;J·V·H·罗伯茨 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;C08J5/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种制造化学机械抛光垫的方法，该方法包括：提供装有聚合材料的罐，提供装有微球的储料斗，提供装有异氰酸酯的异氰酸酯储罐。本发明还将所述聚合材料和微球输送到预混预备罐，形成聚合材料与微球的预混合物，将该预混合物输送到预混操作罐，形成该预混合物和异氰酸酯的混合物。本发明还提供将此混合物注入封闭的模具内，在此模具内固化抛光垫，对所述罐、异氰酸酯储罐和模具中的至少一个装置进行脱气。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 反应 注塑 化学 机械抛光 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造化学机械抛光垫的方法，该方法包括：提供装有聚合材料的罐；提供装有微球的储料斗；提供装有异氰酸酯的异氰酸酯储罐；将所述聚合材料和微球输送到预混预备罐中；形成所述聚合材料与微球的预混合物；将所述预混合物输送到预混操作罐中；形成所述预混合物和异氰酸酯的混合物；将此混合物注入封闭的模具内；在此模具内固化抛光垫；对所述罐、异氰酸酯储罐和模具中的至少一个装置进行脱气。
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