[发明专利]液滴喷出方法和液滴喷出装置、薄膜形成方法以及器件无效
| 申请号： | 200610073697.0 | 申请日： | 2006-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN1850354A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 森山英和;蛭间敬 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;G02B3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 对压力产生元件外加驱动信号而在腔内产生与驱动信号对应的压力，把收容在腔内的液状体作为液滴喷出。驱动信号包括：从比规定电位大了第一电压(Vbc)的基准电位(Vc)，外加第二电压(Vch)，而在腔内产生负压的第一波形部(c)；以比基准电位(Vc)大了第二电压(Vch)的保持电位(Vh)，把腔内的负压保持规定时间的第二波形部(h)；和从保持电位(Vh)到规定电位(Vb)为止，外加第三电压(Vbh)，而对腔内进行加压的第三波形部(d)，其中，第一电压(Vbc)为第三电压(Vbh)的10％以下。这样，即使在使用粘弹性大的材料时，也能稳定地喷出液滴。 | ||
| 搜索关键词： | 喷出 方法 装置 薄膜 形成 以及 器件 | ||
【主权项】：
1.一种液滴喷出方法，对压力产生元件外加驱动信号而在腔内产生与所述驱动信号对应的压力，把收容在所述腔内的液状体作为液滴喷出，所述驱动信号包括：从比规定电位大了第一电压的基准电位，外加第二电压，而在所述腔内产生负压的第一波形部；以比所述基准电位大了所述第二电压的保持电位，使所述腔内的负压保持规定时间的第二波形部；和从所述保持电位至所述规定电位为止，外加第三电压，而对所述腔内进行加压的第三波形部，所述第一电压在所述第三电压的10％以下。
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