[发明专利]照明系统有效
| 申请号： | 200610064703.6 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101013267A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | H·威瑟;J·F·F·克林卡默;L·里齐科夫;S·科斯顿;A·祖比尔;H·J·P·文克;Y·K·施马里夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王小衡;梁永 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于基本上均化辐射束并从该辐射束去除至少一些相干性的系统和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学设备，包括：具有多个通道的相干性去除器；和将辐射束转化成多个辐射束的均化器，以便该多个辐射束的每个相应的辐射束通过所述相干性去除器的多个通道的每个相应的通道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司;ASML控股有限公司，未经ASML荷兰有限公司;ASML控股有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610064703.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：联机分析处理系统中处理非空数据的方法和装置
- 下一篇：一种钟摆驱动装置
