[发明专利]电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统无效
| 申请号： | 200610012108.8 | 申请日： | 2006-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN1858564A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;蔡晨光;邢维巍 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;H03L7/08;H03L7/093 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统包括：环路滤波器、压控振荡器和激励放大器。由敏感结构的拾振电阻、环路滤波器和压控振荡器构成一个锁相环，拾振电阻作为锁相环的鉴相器，拾振电阻输出的信号经过环路滤波器放大、滤波并积分，作用于压控振荡器；压控振荡器输出的信号作为拾振电阻的参考信号，压控振荡器输出的信号经过激励放大器放大，作为敏感结构中激励元件的激励信号。系统中由拾振电阻取代了锁相环结构中的鉴相器，简化了电阻拾振式硅微机械谐振传感器的闭环电路。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 拾振式硅 微机 谐振 传感器 闭环 系统 | ||
【主权项】：
1、电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统，其特征在于：锁相闭环控制系统(2)由环路滤波器(5)、压控振荡器(4)和激励放大器(3)组成，由敏感结构的拾振电阻(6)、环路滤波器(5)和压控振荡器(4)构成一个锁相环，其中敏感结构的拾振电阻(6)作为锁相环的鉴相器，敏感结构(1)的拾振电阻(6)输出的信号经过环路滤波器(5)放大、滤波并积分，作用于压控振荡器(4)；压控振荡器(4)输出的信号分为两路，一路作为拾振电阻(6)的参考信号，另一路经过激励放大器(3)放大，作为敏感结构(1)中激励元件(8)的激励信号激励谐振器(7)。
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