[发明专利]由印刷图案进行印刷的方法及印刷该印刷图案的生产设备无效
| 申请号： | 200610006458.3 | 申请日： | 2006-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1818744A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 高桥美朝 | 申请（专利权）人： | NEC液晶技术株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;陆锦华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于印刷印刷图案的方法，包括下面的步骤：印刷图案形成工艺，在基板上形成的蚀刻膜上形成诸如由抗蚀成分制成的抗蚀剂的印刷图案；以及此后的减薄工艺，在通过使用印刷图案作为掩模进行蚀刻之前，通过诸如等离子体灰化的干蚀刻，或诸如显影处理的湿蚀刻，在厚度方向上减薄抗蚀剂；以及蚀刻工艺，通过使用减薄的印刷图案作为掩模来蚀刻蚀刻膜。 | ||
| 搜索关键词： | 印刷 图案 进行 方法 生产 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于印刷印刷图案的方法，包括下面的步骤：印刷工艺，通过使用印刷方法在基板上形成的蚀刻膜上形成由抗蚀成分制成的印刷图案；减薄工艺，通过干蚀刻或湿蚀刻来减薄印刷图案；以及蚀刻工艺，通过使用减薄的印刷图案作为掩模来蚀刻蚀刻膜。
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