[发明专利]喷嘴板的制造方法、喷嘴板、液滴喷头及液滴喷出装置

摘要

提供能够低成本地制造喷嘴板的喷嘴板制造方法、按照该喷嘴板制造方法制造的喷嘴板、具备该喷嘴板的液滴喷头及具备该液滴喷头的液滴喷出装置。本发明的喷嘴板制造方法，是一种将具备多个喷嘴孔(21)和设置在液滴喷出面(22)上并相对于液滴具有疏液性的疏液膜(7)的芯片(26)接合在喷嘴板主体上而获得喷嘴板的方法。该方法具有疏液膜去除工序和接合工序；疏液膜去除工序，将保护疏液膜(7)的掩模材料(9)从面(27)侧经由各喷嘴孔(21)向液滴喷出面(22)的喷嘴孔周边漏出地供给、且从液滴喷出面(22)侧相对于芯片(26)在大气压下施以等离子体处理，从而去除从掩模材料(9)露出的疏液膜(7)；接合工序，将芯片(26)在去除了疏液膜(7)的部分与喷嘴板主体接合。

主权项

1.一种喷嘴板制造方法，是将小片与喷嘴板主体接合而制造喷嘴板的方法，其中该小片具备多个喷嘴孔和设置在从该各喷嘴孔喷出液滴一侧的液滴喷出面上的疏液膜，且该疏液膜对于上述液滴具有疏液性，其特征在于：具有疏液膜去除工序和接合工序；上述疏液膜去除工序，将保护上述疏液膜的气体状掩模材料从上述小片的上述液滴喷出面相反一侧经由上述各喷嘴孔向上述液滴喷出面的上述喷嘴孔周边以漏出的方式进行供给，并且，对上述小片从其上述液滴喷出面一侧在大气压下施以等离子体处理，从而去除从上述掩模材料露出的上述疏液膜；上述接合工序，将上述小片在去除了上述疏液膜的部分与上述喷嘴板主体接合。