[发明专利]热光学效应型光导波路元件及其制造方法无效
| 申请号： | 200610002703.3 | 申请日： | 2006-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1811499A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 吴玉英 | 申请（专利权）人： | 株式会社精工技研 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G03F7/20;G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供以低成本、低消耗电力、低热应力，量产性优越的热光学效应型光导波路元件及其制造方法。热光学效应型光导波路元件在基材上具备光导波路以及使该光导波路产生热光学效应的薄膜加热器。并且，热光学效应型光导波路元件具备沿与上述薄膜加热器对应的光导波路芯的至少一侧实际上与该光导波路芯平行地配置的热隔离槽。此外，热光学效应型光导波路元件的制造方法是在基材上用聚合物材料形成上述光导波路的工序中，与该光导波路同时形成在光导波路芯附近配置的热隔离槽。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 效应 导波 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热光学效应型光导波路元件，其在基材上具备光导波路以及使该光导波路产生热光学效应的薄膜加热器，其特征在于：具备沿与上述薄膜加热器对应的光导波路芯的至少一侧实际上与该光导波路芯平行地配置的热隔离槽。
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