[发明专利]用于产生波长范围从大约1nm至大约30nm的辐射并在光刻装置或计量学中使用的方法和设备有效
| 申请号： | 200580040638.7 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN101065999A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | J·琼克斯;D·M·沃德雷芬格 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 原绍辉;黄力行 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 描述了通过电操作放电产生波长范围从大约1nm至大约30nm的辐射(12)的方法和设备，该方法和设备可以在光刻术或计量学中使用。使用至少一个第一电极(14)和与第一电极间隔一段距离的至少一个第二电极(16)，其中至少一种工作气体(22)在电极(14，16)之间提供。等离子体在工作气体(22)内点燃，该等离子体产生的辐射(12)通过第一开口(30)发送，以进一步使用，并且其中碎片微粒(28)在电极(14，16)中的至少一个的至少一个区域(26)内产生。为了保留碎片微粒(28)，该方法配置为使得至少该区域(26)相对于第一开口(30)以这样的方式布置，即碎片微粒(28)的运动路径(32)至少主要在由第一开口(30)限定的区域外面延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 波长 范围 大约 nm 至大 30 辐射 光刻 装置 计量学 使用 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种通过电操作放电产生波长范围从大约1nm至大约30nm的辐射(12)的方法，为此，使用至少一个第一电极(14)和与第一电极间隔一段距离的至少一个第二电极(16)，其中至少一种工作气体(22)在电极(14，16)之间提供，并且等离子体(24)在工作气体(22)内点燃，该等离子体产生的辐射(12)通过第一开口(30)发送，以进一步使用，并且其中碎片微粒(28)在电极(14，16)中的至少一个的至少一个区域(26)内产生，其特征在于，至少该区域(26)相对于第一开口(30)以这样的方式布置，即碎片微粒(28)的运动路径(32)至少主要在由第一开口(30)限定的区域外面延伸。
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