[发明专利]氧化物超导薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 200580000794.0 | 申请日： | 2005-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1860622A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 荒木猛司;中尾公一;平林泉 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;财团法人国际超电导产业技术研究中心 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;C23C18/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及制备氧化物超导薄膜的方法，该方法包括包含选自由镧、钕和钐组成组中的金属M的金属乙酸盐与具有不少于3个碳原子的氟代羧酸反应，乙酸钡与具有两个碳原子的氟代羧酸反应，乙酸铜与具有不少于2个碳原子的氟代羧酸反应，接着提纯反应产物；在甲醇中溶解反应产物，使金属M、钡和铜的摩尔比为1∶2∶3以制备出涂覆溶液；以及用所述涂覆溶液涂覆衬底，形成凝胶膜，接着煅烧并且烘烤凝胶膜，从而制备出氧化物超导薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 超导 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备氧化物超导薄膜的方法，包括：包含选自由镧、钕和钐组成组中的金属M的金属乙酸盐与具有不少于3个碳原子的氟代羧酸反应，乙酸钡与具有两个碳原子的氟代羧酸反应，并且乙酸铜与具有不少于2个碳原子的氟代羧酸反应，接着提纯反应产物；在甲醇中溶解反应产物，使金属M、钡和铜的摩尔比为1∶2∶3以制备出涂覆溶液；以及用所述涂覆溶液涂覆衬底，形成凝胶膜，接着煅烧并且烘烤凝胶膜，从而制备出氧化物超导薄膜。
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