[实用新型]光掩模铬版激光微修补送粉装置

摘要

一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，由粉末腔、平衡腔、气压腔与温度控制器四部分组成；粉末腔与气压腔通过平衡腔贯通连接，粉末腔与温度控制器通过传输线连接构成整体。工作过程为：将粉末腔抽真空后，在粉末腔和气压腔内注入保护气，调节腔压；然后关闭保护气，调节温度控制器加热放置在粉末腔底部的六羰基铬粉末，使其受热升华均匀分布在保护气中。温度传感器检测粉末腔内温度场的高低，通过调节温度控制器控制加热装置电流大小，以调节六羰基铬粉末的升华量及其升华速度。同时粉末腔再注入保护气、打开粉末输出阀，六羰基铬粉末即以混合均匀的混合气形式输送出去。该装置具有结构简单，工作可靠等特点，完全适合光掩模铬版激光微修补的需要。

主权项

1、一种光掩模铬版激光微修补送粉装置，其特征在于：该装置由粉末腔(14)、平衡腔(5)、气压腔(1)与温度控制器(9)四部分组成；其中：粉末腔(14)的两侧分别设置有连接着保护气输入管(12)的保护气输入阀(13)与连接着粉末输送管(7)的粉末输出阀(6)，粉末腔(14)的顶部设置有真空抽气孔(15)；气压腔(1)的外壁上设置有进气阀(2)和气压表(3)；将粉末腔(14)与气压腔(1)通过平衡腔(5)贯通连接，粉末腔(14)与温度控制器(9)通过电信号传输线连接构成该装置整体；该装置各部件之间均采用常规连接技术。