[发明专利]分析器有效
| 申请号： | 200410011886.6 | 申请日： | 2004-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN1603882A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 村田昭浩 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G02B26/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种分析器，包括光学可调过滤器(1)和接收从所述光学可调过滤器(1)输出并通过被测量物体或由被测量物体反射的光的PD(421)。光学可调过滤器(1)包括具有透光性的可移动部分(31)的第一衬底(3)；与第一衬底相对设置的透光性的第二衬底(2)；分别设置在第一衬底(3)的可移动部分(31)和第二衬底(2)之间的第一间隙(21)和第二间隙(22)；干涉部分，其与进入光学可调过滤器(1)并且具有预定波长的光在可移动部分和第二衬底(2)之间通过第二间隙(22)干涉；以及驱动部分，驱动部分用于通过相对于第二衬底(2)利用第一间隙(21)移动可移动部分(31)而改变第二间隙(22)的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 分析器 | ||
【主权项】：
1.一种分析器，包括：用于选择性地输出具有预定波长的光的光学可调过滤器和用于接收从所述光学可调过滤器输出并通过被测量物体或由被测量物体反射的光的光接收部分；包括具有透光性的可移动部分的第一衬底；具有透光性的第二衬底，所述第二衬底设置为与所述第一衬底相对；分别设置在所述第一衬底的可移动部分与所述第二衬底之间的第一间隙和第二间隙；干涉部分，所述干涉部分使与进入所述光学可调过滤器并且具有预定波长的光在所述可移动部分和所述第二衬底之间通过所述第二间隙发生干涉；以及驱动部分，所述驱动部分通过利用所述第一间隙相对于所述第二衬底移动所述可移动部分而改变所述第二间隙的距离。
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