[发明专利]光生伏打元件的制造方法无效
申请号: | 200410003802.4 | 申请日: | 2004-02-06 |
公开(公告)号: | CN1536683A | 公开(公告)日: | 2004-10-13 |
发明(设计)人: | 下田宽嗣 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种光生伏打元件的制造方法,具有至少将基板上依次叠层了背面反射层、半导体层和透明电极层的光生伏打元件浸渍在电解质溶液中,对该光生伏打元件施加正向电压,通过对该光生伏打元件的短路部的所述透明电极层进行还原的电解处理,选择性除去该光生伏打元件的缺陷造成的短路电流通路的步骤,其中,通过将施加在所述光生伏打元件上的正向电压降低到0V或不引起所述透明电极层还原反应的正向电压时的电压梯度ΔV/Δt控制为-15~-0.1V/s,可靠地选择性除去分流部,而不增大分流路径。 | ||
搜索关键词: | 光生伏打 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光生伏打元件的制造方法,具有通过将在基板上至少依次叠层了背面反射层、半导体层和透明电极层的光生伏打元件浸渍在电解质溶液中,对该光生伏打元件施加正向电压使该光生伏打元件的短路部的所述透明电极层进行还原的电解处理,选择性除去由该光生伏打元件的缺陷造成的短路电流通路的步骤,其特征在于:施加在所述光生伏打元件上的正向电压降低到0V或不引起所述透明电极层还原反应的正向电压的步骤中的电压梯度为-15V/s~~0.1V/s。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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