[发明专利]微致动器和使用该微致动器的光学开关无效
| 申请号： | 03807301.3 | 申请日： | 2003-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN1642849A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 石津谷徹;铃木纯儿 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B26/02;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车文;顾红霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 活动部分由具有悬臂结构的桥接部分13构成，悬臂结构的固定端经腿部12固定。桥接部分13有两个串联连接在固定端和自由端之间的桥接构件14和15。固定端一侧上的桥接构件14为板簧部分。自由端一侧上的桥接构件15为一种拥有刚性的刚性部分。桥接构件14在桥接部分13不受力的状态下向与衬底11相反的一侧弯曲。反射镜2设置在桥接构件15的自由端一侧上。结果，可以获得能以较小的驱动力操纵的微致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 微致动器 使用 光学 开关 | ||
【主权项】：
1.一种微致动器，包括固定部分和具有悬臂结构的活动部分，其中悬臂结构的固定端紧固到固定部分，该微致动器的特征在于活动部分在其固定端和自由端之间有一个桥接部分，此桥接部分有多个在固定端和自由端之间串联连接的桥接构件，和在活动部分未受力的状态下，多个桥接构件中的一个桥接构件和至少另一个桥接构件相对于固定部分的一侧以及与该固定部分相反的一侧有不同的弯曲或非弯曲状态。
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