[发明专利]胶体溶液的过滤方法无效

专利信息
申请号: 03131022.2 申请日: 2003-05-14
公开(公告)号: CN1457917A 公开(公告)日: 2003-11-26
发明(设计)人: 梅泽浩之;井关正博;对比地元幸;饭沼宏文 申请(专利权)人: 三洋电机株式会社
主分类号: B01D37/03 分类号: B01D37/03
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 张平元,赵仁临
地址: 暂无信息 国省代码: 暂无信息
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摘要: 此前,CMP等机械加工产生的排水是CMP游浆中含磨料微粒的胶体溶液,无有效的过滤方法。本发明提供一种胶体溶液的过滤方法,对含胶体溶液微粒的排水,利用抽吸在第1过滤器1的表面上形成的凝胶膜构成的第2过滤器2进行过滤。此时,加入凝聚剂或pH调节剂,使胶体溶液微粒形成易于凝胶化的凝聚粒子,进行抽吸过滤,从而即使凝胶化困难的胶体溶液也能进行过滤。
搜索关键词: 胶体溶液 过滤 方法
【主权项】:
1.一种胶体溶液的过滤方法,其特征在于,向含有胶体状的被去除物的胶体溶液中加入促进凝聚的添加物,生成上述被去除物的凝聚粒子,将上述被去除物的凝聚粒子抽吸到第1过滤器的表面上,使由生成的凝胶膜构成的第2过滤器成膜,用该第2过滤器过滤上述被去除物的凝聚粒子。
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