[发明专利]药液供给装置以及药液供给方法无效
| 申请号： | 02809898.6 | 申请日： | 2002-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN1509199A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 矢岛丈夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社小金井 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00;B05C11/10;H01L21/027;G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 缓冲罐部(6)有通过液体导入流路(42)与收纳药液的液体罐(46)连通的液体贮留室(61)。过滤器部(4)具有过滤器入口(41a)和过滤器出口(41b)，过滤器入口(41a)与缓冲罐部(6)的液体排出口(60d)连通。泵(11)，其泵入口(11a)与过滤器出口(41b)连接，泵出口(11b)介于液体排出流路(47)与排出喷嘴(50)连接。返回流路(48)连接在泵出口(11b)和缓冲罐部(6)之间，使从泵(11)排出的药液返回到液体贮留室(61)。排气流路(49)与缓冲罐部(6)连接，排出液体贮留室(61)内的空气。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 供给 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种药液供给装置，其特征在于，具有：有液体贮留室的缓冲罐部，该液体贮留室通过液体导入流路，与收纳药液的液体罐连通；过滤器部，该过滤器部具有过滤器入口和过滤器出口，上述过滤器入口与上述缓冲罐部的液体排出口连通；泵，该泵的入口与上述过滤器出口连接，泵出口介于液体排出流路，与排出喷嘴连接；返回流路，该返回流路连接在上述泵出口和上述缓冲罐部之间，使从上述泵排出的药液返回到上述液体贮留室；排气流路，该排气流路与上述缓冲罐部连接，排出上述液体贮留室内的空气。
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