[实用新型]三自由度超精密定位平台无效
| 申请号： | 02281264.4 | 申请日： | 2002-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN2580470Y | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 于坤 |
| 地址： | 150006 黑龙江省哈尔滨*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 三自由度超精密定位平台，它涉及超精密定位平台的改进。在光学调整中，经常需要将入射光线偏转一个角度射出，以达到各种试验的要求。在现有技术情况下，一般是通过螺纹或顶丝调整镜架机构，以达到偏转入射光的目的，其角度分辨率最高只能达到0.1°≈1.75mrad。本实用新型的圆形平台(1－1)的下端是圆筒(1－2)，圆筒(1－2)分为上下两截，圆筒(1－2)的上截圆筒(1－21)与下截圆筒(1－22)之间固定有平板(1－3)，基础台体(5)内呈等边三角形固定有三组各自独立的压电陶瓷预紧机构(10)，三组压电陶瓷预紧机构(10)设置在基础台体(5)与圆形平台(1－1)之间。本实用新型转角范围可达到±0.4～±1mrad，角度分辨率可达到0.1μrad，位移重复定位精度可达到2nm。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 精密 定位 平台 | ||
【主权项】：
1、三自由度超精密定位平台，它包含运动输出平台(1)、螺纹圆锥销(4)、基础台体(5)、底座(9)，其特征在于它还包含平板(1-3)和三组各自独立的压电陶瓷预紧机构(10)；运动输出平台(1)的上端是圆形平台(1-1)，圆形平台(1-1)的下端是圆筒(1-2)，圆筒(1-2)分为上下两截，圆筒(1-2)的上截圆筒(1-21)与下截圆筒(1-22)之间固定有平板(1-3)，基础台体(5)的上部设置在下截圆筒(1-22)内，基础台体(5)上的螺纹孔与下截圆筒(1-22)筒壁上的锥孔相对应并由螺纹圆锥销(4)将两者固定在一起，基础台体(5)的下部设置在底座(9)内，下截圆筒(1-22)的下端与底座(9)的上端螺纹连接，基础台体(5)内呈等边三角形固定有三组各自独立的压电陶瓷预紧机构(10)，三组压电陶瓷预紧机构(10)设置在基础台体(5)与圆形平台(1-1)之间。
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