[发明专利]带减震的扫描隧道显微镜的扫描装置无效
| 申请号： | 02145210.5 | 申请日： | 2002-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1501062A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李民乾;胡均;华寿亭;张心澄 | 申请（专利权）人： | 上海爱建纳米科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/12 | 分类号： | G01N13/12 |
| 代理公司： | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人： | 李兰英;谭佐晞 |
| 地址： | 200041上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描装置，包括含有头部、安装平台和底座的扫描装置，含有底架、支柱和顶架的支架，n≥3根的弹簧。弹簧一端均匀地固定在支架的顶架上，另一端固定在扫描装置头部的外罩上。由弹簧将其扫描装置悬吊在支架的中间的空中。支架的底架置放在防震台上。来自外界的震动和冲击波引起的震动由防震台和弹簧双重减震，获得良好的减震和防震效果。本发明的减震结构不仅结构简单，组装容易，使得扫描装置的抗震能力强，而且稳定性好，提高了分辨率的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 减震 扫描 隧道 显微镜 装置 | ||
【主权项】：
1、一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描装置，包括：含有头部(3)、安装平台(4)和底座(5)的扫描装置(3-5)和防震台(6)，其中头部(3)含有外罩(301)，外罩(301)与安装平台(4)衔接处有外沿(302)，外沿(302)上置有悬吊螺栓(303)，其特征在于包括支架(1)和弹簧(2)，其中支架(1)包括底端的底架(101)、顶端的顶架(103)、底架(101)与顶架(103)之间的支柱(102)；弹簧(2)有n≥3根，一端均匀分布的固定在支架(1)的顶架(103)上，另一端固定在扫描装置(3-5)头部(3)的外罩(301)外沿(302)上的悬吊螺栓(303)上或者固定在外罩(301)上悬吊环上，或者直接固定在头部(3)的外罩(301)上，支架(1)的底架(101)置放在防震台(6)上；
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