[发明专利]夹持基片的方法和装置无效
| 申请号： | 02144466.8 | 申请日： | 2002-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1411026A | 公开（公告）日： | 2003-04-16 |
| 发明（设计）人： | 石田修也 | 申请（专利权）人： | 日新电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265;H01L21/68;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚,李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种夹持基片的装置，它包括用于以静电方法夹紧和夹持基片的一个静电卡盘；用于将直流夹紧电压加在所述静电卡盘上的夹紧电源；机械驱动所述静电卡盘的卡盘驱动装置；和通过将指令信息加在所述卡盘驱动装置上，控制所述卡盘驱动装置的运动和驱动控制部件。该装置还包括一个夹紧控制部件，它根据从驱动控制部件加在卡盘驱动装置上的指令信息，计算在所述静电卡盘机械运动时，所夹持的基片经受的在每一个时刻的加速度。另外，还可利用计算的加速度，计算在每一个时刻，夹紧基片所需的夹紧力；并可根据计算的夹紧力，改变从夹紧电源输出的夹紧电压，使静电卡盘产生计算的夹紧力。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于基片夹持装置的基片夹持方法，该装置具有用静电方法夹紧和夹持基片的一个静电卡盘，和将直流夹紧电压加到所述静电卡盘的一个夹紧电源；所述方法包括：计算当所述静电卡盘机械运动时，根据被夹持的基片所经受的一个或多个加速度，在夹持基片的时间过程中的每一个时间点上，夹持所述基片所需的夹紧力；和根据所述的计算的夹紧力，改变从所述夹紧电源输出的夹紧电压，使所述静电卡盘产生所述的计算夹紧力。
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