[发明专利]介层窗偏移侦测装置

摘要

一种介层窗(Via)偏移的侦测装置，借着芯片内金属层间的介层窗出现偏移时，本发明的介层窗偏移侦测装置内侦测电路中之介层窗亦会同时出现偏移，故透过适当布置侦测电路中介层窗的位置，在芯片内金属层间的介层窗出现偏移时，使得侦测电路中不同金属层的金属线透过已偏移的介层窗而发生短路，并产生较介层窗偏移前高的电压输出作为介层窗偏移侦测结果。因此可有效且准确侦测出芯片内各金属层间的介层。窗是否偏移及其偏移方向与程度，便可对制程作出相应的调整和优化处理，以提升制程良率，降低产品成本。

主权项

1.一种介层窗偏移侦测装置，是应用在具有复数金属层的一芯片中，其特征在于：该介层窗偏移侦测装置至少包括：一电源供应模块；一第一侦测电路，该第一侦测电路至少包括：该些金属层的一第一金属层，该第一金属层至少包括一第一金属线和一第二金属线，其中该第一金属层的该第一金属线和该第一金属层的该第二金属线的间的距离为一第一金属线距离值，而该第一金属层的该第一金属线的一端和该第一金属层的该第二金属线的一端皆电性连接至该电源供应模块；该些金属层的一第二金属层的复数条第一金属线，该些第一金属线至少包括一第一第一金属线、一第二第一金属线和一第三第一金属线，其中该第一第一金属线的一端电性连接一第一电阻器的一端，该第一电阻器的另一端电性连接至一接地端，该第二第一金属线的一端电性连接一第二电阻器的一端，该第二电阻器的另一端电性连接至该接地端，该第三第一金属线的一端电性连接一第三电阻器的一端，该第三电阻器的另一端电性连接至该接地端，且该第一金属层是位于该第二金属层上方，该第一金属层是与该第二金属层的该些第一金属线互为正交布置；一第一金属层隔离模块，该第一金属层隔离模块至少包括一第一输入端、一第二输入端、一第三输入端、一第一输出端、一第二输出端和一第三输出端，该第一金属层隔离模块的该第一输入端电性连接至该第一第一金属线的另一端，该第一金属层隔离模块的该第二输入端电性连接至该第二第一金属线的另一端，该第一金属层隔离模块的该第三输入端电性连接至该第三第一金属线的另一端；以及一第一介电层，该第一介电层位于该第一金属层和该第二金属层的间，并根据一第一预定介层窗布置方法，在对应该第一第一金属线的该第一介电层的一第一预定位置形成一第一介层窗，在对应该第二第一金属线的该第一介电层的一第二预定位置形成一第二介层窗，并在对应该第三第一金属线的该第一介电层的一第三预定位置形成一第三介层窗；一第二侦测电路，该第二侦测电路至少包括：该些金属层的该第二金属层的复数条第二金属线，该些第二金属线至少包括一第一第二金属线和一第二第二金属线，其中该第一第二金属线的一端和该第二第二金属线一端皆电性连接至该电源供应模块，而该第一第二金属线和该第二第二金属线的间的距离为一第二金属线距离值；该些金属层的一第三金属层，该第三金属层至少包括一第一金属线、一第二金属线和一第三金属线，该第三金属层的该第一金属线的一端电性连接一第四电阻器的一端，该第四电阻器的另一端电性连接至该接地端，该第三金属层的该第二金属线的一端电性连接一第五电阻器的一端，该第五电阻器的另一端电性连接至该接地端，该第三金属层的该第三金属线的一端电性连接一第六电阻器的一端，该第六电阻器的另一端电性连接至该接地端，且该第二金属层是位于该第三金属层上方，该第二金属层的该些第二金属线是与该第三金属层的该第一金属线、该第三金属层的该第二金属线和该第三金属层的该第三金属线互为正交布置；一第二金属层隔离模块，该第二金属层隔离模块至少包括一第一输入端、一第二输入端、一第三输入端、一第一输出端、一第二输出端和一第三输出端，该第二金属层隔离模块的该第一输入端电性连接至该第三金属层的该第一金属线的另一端，该第二金属层隔离模块的该第二输入端电性连接至该第三金属层的该第二金属线的另一端，该第二金属层隔离模块的该第三输入端电性连接至该第三金属层的该第三金属线的另一端；以及一第二介电层，该第二介电层位于该第二金属层和该第三金属层的间，并根据一第二预定介层窗布置方法，在对应该第三6金属层的该第一金属线的该第二介电层的一第四预定位置形成一第四介层窗，在对应该第三金属层的该第二金属线的该第二介电层的一第五预定位置形成一第五介层窗，并在对应该第三金属层的该第三金属线的该第二介电层的一第六预定位置形成一第六介层窗；一缓存器，该缓存器具有复数个缓存器输入端和一缓存器输出端，其中该些缓存器输入端的一第一缓存器输入端电性连接至该第一金属层隔离模块的该第一输出端和该第二金属层隔离模块的该第一输出端，该些缓存器输入端的一第二缓存器输入端电性连接至该第一金属层隔离模块的该第二输出端和该第二金属层隔离模块的该第二输出端，该些缓存器输入端的一第三缓存器输入端电性连接至该第一金属层隔离模块的该第三输出端和该第二金属层隔离模块的该第三输出端，藉以接收该第一金属层隔离模块输出的复数个讯号和该第二金属层隔离模块输出的复数个讯号；以及一寻址模块，该寻址模块用以接收一地址讯号，并根据该地址讯号以激活该电源供应模块，以及激活该第一金属层隔离模块和该第二金属层隔离模块中的一者及关闭该第一金属层隔离模块和该第二金属层隔离模块中的另一者，藉以使得该第一金属层隔离模块和该第二金属层隔离模块中的一者与该些缓存器输入端短路，以及使得该第一金属层隔离模块和该第二金属层隔离模块中的另一者与该些缓存器输入端断路。