[实用新型]纳米级位置定位装置无效
申请号: | 01274018.7 | 申请日: | 2001-11-13 |
公开(公告)号: | CN2510230Y | 公开(公告)日: | 2002-09-11 |
发明(设计)人: | 胡旭晓 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | B23Q3/18 | 分类号: | B23Q3/18 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 张法高 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种纳米级位置定位装置。它具有恒温室,在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置,粗级定位装置为滚珠丝杆,纳米级定位装置具有工作腔壳体,在工作腔内设有变形体,变形体两侧设有变形体支撑块,变形体支撑块两侧和变形体一端分别设有隔热板,在变形体上设有温度感知器,在变形体一端设有位移感知器,在变形体支撑块上设有两调温管道,在两调温管道一端设有调温器。本实用新型的优点是1)变形体的热位移直接作为纳米位移驱动器,从而减少许多中间链路,提高定位精度;2)变形体取材容易,价格适中;3)采取二级定位,一级为粗定位,一级为纳米级定位;4)通过二级温度控制,实现对变形体热位移的控制,并达到稳定且较高的控制精度。 | ||
搜索关键词: | 纳米 位置 定位 装置 | ||
【主权项】:
1.纳米级位置定位装置,其特征在于它具有恒温室[1],在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置,粗级定位装置为滚珠丝杆[7],纳米级定位装置具有工作腔壳体[4],在工作腔内设有变形体[10],变形体两侧设有变形体支撑块,变形体支撑块两侧和变形体两端分别设有隔热板[13]、[6]、[2],在变形体上设有温度感知器[5],在变形体一端设有位移感知器[9],在变形体支撑块上设有两调温管道[11]、[3],在调温管道[11]一端设有调温器[12],调温管道[3]一端设有调温器[8]。
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