[实用新型]薄片型电子元件的清洗装置无效
申请号: | 01227725.8 | 申请日: | 2001-06-25 |
公开(公告)号: | CN2489463Y | 公开(公告)日: | 2002-05-01 |
发明(设计)人: | 吴湘涵;吴永清 | 申请(专利权)人: | 吴湘涵;吴永清 |
主分类号: | H01L21/302 | 分类号: | H01L21/302;B08B3/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王巨潮 |
地址: | 台湾省桃园*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种薄片型电子元件的清洗装置,包括一机台顶部设置一洗净容器枢连一封盖,洗净容器内设置一转盘由一动力装置驱转,且转盘上对称的设置数支持座各滑扣一料盘治具,透空的凹设数置料空间各置入薄片型电子元件的料盘,不平衡的向内斜下悬置在转盘上,及一清净装置压力喷洗后引入温度隋气喷流干燥,和带静电的隋气流浸渍洗净干燥完成的薄片型电子元件,而一操控装置,操控各组件的顺序动作,及动作时间和速度。 | ||
搜索关键词: | 薄片 电子元件 清洗 装置 | ||
【主权项】:
1.一种薄片型电子元件的清洗装置,是包括:一机台,容置各组件:一洗净容器,枢连一封盖的设置在机台顶面,使一转盘转轴密封穿出洗净容器底部,而转盘上外缘对称的设置数支持座;一动力装置,固设在机台内,其驱动轴连接洗净容器的转盘转轴;数料盘治具,其两侧同一轴线的各连设一枢持轴,使各滑扣在洗净容器各支持座上,且透空的凹设数置料空间各合置限持薄片型电子元件的料盘,并使重心不平衡的向内斜下预设角度的悬置在转盘上;一洗净干燥装置,含有一喷洗管,一除液喷气管,一干燥喷气管,一静电喷气管等组成,使各管路对应洗净容器各支持座枢扣的各料盘治具回转轨迹,设置在洗净容器封盖底部;一操控装置,操控各组件的顺序动作,及各组件的动作时间和速度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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