[发明专利]无源双极电弧控制系统和方法有效
| 申请号： | 01142786.8 | 申请日： | 2001-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN1350284A | 公开（公告）日： | 2002-05-22 |
| 发明（设计）人： | 杰弗·C·塞勒斯 | 申请（专利权）人： | ENI技术公司 |
| 主分类号： | G11B5/851 | 分类号： | G11B5/851;G11B7/26;C23C14/34;C23C14/36;C23C14/38 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用无源电路控制直流溅射系统中的电弧形成的方法和系统,该电弧控制系统包括溅射腔;此溅射腔包括阳极和由靶材料形成作为阴极的溅射靶。直流电源,用来提供直流阴极电压使阴极电流由阳极流向阴极;谐振网络,连接在直流电源和腔之间,此谐振网络具有与电弧产生对应地,使阴极电流谐振通过0,在阴极和阳极之间形成正电压的Q;以及反向电压钳位电路,与谐振网络连接,用来将阴极电压钳制到预先设定的反向电压。反向阴极电压通过在溅射靶沉积带正电的电介质来抑制随后的电弧。电弧控制系统限制了由电弧消耗的能量。 | ||
| 搜索关键词： | 无源 电弧 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种针对直流溅射系统中的电弧的电弧控制系统，包括：溅射腔，包括阳极、和由靶材料形成的作为阴极的溅射靶；直流电源，用来提供直流阴极电压使阴极电流流过阳极和阴极；谐振网络，连接在直流电源和溅射腔之间，此谐振网络具有与电弧的产生相应地，阴极电流与反向电流电平谐振的Q，以及反向电压钳位电路，与谐振网络连接，用来将阴极电压钳制到预先确定的钳位电压。
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