[发明专利]一种光路可伸缩的CCD器件光电参数测试装置

摘要

一种光路可伸缩的CCD器件光电参数测试装置,属于光电测试技术领域中的一种对CCD器件光电参数进行检测的装置。本发明要解决的技术问题是被测CCD器件的平面能获得均匀的照射面且有足够的辐射能量,辐射照度应能连续可调,光路上尽量减小或消除杂光辐射。技术方案是采用光路折转结构,入射光线经过两块反射棱镜反射,将光线行进方向折转180°,出射光路平行于入射光路。本发明包括光源部分、伸缩皮腔、光路折转部分和测试与参考监测部分,伸缩皮腔将光源部分、测试与参考监测部分与光路折转部分封闭式连接起来,整个装置构成密封封闭结构,光路可伸缩完全能满足不在暗室条下对CCD器件光电参数的测试工作。

主权项

1、一种光电可伸缩的CCD器件光电参数测试装置，是由光源、反射镜面、辐射窗口和被测CCD平面组成的，其特征在于：本发明包括光源部分(5、6、7、8)、伸缩皮腔(9、18)、光路折转部分(10、11、12、13、14、15、16、17)、测试与参考监测部分(19、20、21、22、23、24)四个部分，在光的传播方向上，在光轴上置入两块反射棱镜12和16，使反射棱镜12和16的反射面的延长线相交所构成的角度为90°出射光路平行于入射光路；在整个光路系统中，伸缩皮腔9的两端分别和光源箱体8的出口、光路折转箱体10的入口密封连接；伸缩皮腔18的两端分别和光路折转箱体10的出口、测试与参考监测箱体21的入口密封连接；在光源箱体8内，在入射光的传播方向上在光源5的前方与光轴垂直依次放置滤光片6和光栏7；在光路折转箱体10内，在反射棱镜12前面的入射光路和在反射棱镜16后面的出射光路的相对应位置上分别置有与光轴垂直的光栏组11和光栏组17，在反射棱镜12和反射棱镜16之间的光路上与光轴垂直放置光栏13和15，在它们之间与光轴垂直放置中性滤光片14；在测试与参考监测箱体21内，在出射光路上，与出射光路成45°角放置一块半反射镜22，在半反射镜22透射光的光路上并与光轴垂直放置光栏23，在光栏23后面的透射光出口处且与光轴垂直放置被测CCD平面24，在半反射镜22反射光的光路上并与光轴垂直放置光栏20，在光栏20后面反射光出口处且与光轴垂直放置参考监测面19。