[发明专利]加热干胶片及在干胶片上烘烤光致抗蚀剂膜的方法和设备无效
| 申请号： | 00124137.0 | 申请日： | 2000-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1282005A | 公开（公告）日： | 2001-01-31 |
| 发明（设计）人： | 朴赞勋 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 何秀明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为加热物体供热给第一固体热转移介质。热量从第一固体热转移介质传输至流体热转移介质,该介质划分成多个相互连接的蒸发腔,每个腔含有液体。热量使液体在相应的蒸发腔中蒸发成多个蒸汽部分,多个蒸汽部分向上平行导向物体。蒸汽部分和第二固体热转移介质接触,以加热第二固体热转移介质,由此将热量传输至第二固体热转移介质。第二固体热转移介质和物体热接触,将热量从第二固体热转移介质传输至物体。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 胶片 烘烤 光致抗蚀剂膜 方法 设备 | ||
【主权项】：
1．一种均匀加热物体的方法，包括：给第一固体热转移介质供热；将热量从第一固体热转移介质传输至流体热转移介质，该介质被划分成多个互相连接的蒸发腔，每个腔含有液体，其中热量在各个相应蒸发腔使液体蒸发为多个蒸汽部分，多个蒸汽部分向上被平行导向物体；将蒸汽部分和第二固体热转移介质接触，以加热第二固体热转移介质，由此将热传输至第二固体热转移介质；和将第二固体热转移介质和物体热接触，以将热从第二固体热转移介质传输至物体。
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