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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]改进的微机械共振器-CN201180010540.2有效
发明人：维耶勒·卡亚卡里 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2011-02-18 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种用于微机电(MEMS)共振器的改进的结构。根据本发明的第一方面，按照本发明的共振器结构具有与给定的机械振幅相结合的特征振荡频率，所述共振器结构通过将适于振荡的第一元件(1)以及适于振荡的第二元件(2)锚定在位于该共振器结构的基板的给定点处的锚定点（A），从而进行所述机械振幅的设定，以使得所述第一元件和所述第二元件中的至少一个被配置成相对于所述锚定点(A)同步地振荡，并且该锚定点的位置被选择为基本上位于由所述第一元件(1)以及所述第二元件(2)的尺寸所界定的接头突出部分(1、2)内。
改进微机共振器

[发明专利]体声波谐振器及其制造方法-CN201080052314.6无效
发明人： A.贾科拉;H.库伊斯马 -专利权人： VTT科技研究中心;VTI技术有限公司
申请日： 2010-11-19 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种新颖的体声波（BAW）谐振器设计及其制造方法。所述体声波谐振器包括：谐振器部分，其设有至少一个空隙，所述空隙具有在所述谐振器部分上形成连续封闭路径的沟槽的形式。通过在与所述谐振器部分的外部尺寸相同的处理步骤中制造所述空隙，处理变化对谐振器的谐振频率的影响可被减小。通过本发明，BAW谐振器的精确度可被增加。
声波谐振器及其制造方法

[发明专利]能量采集的方法和装置-CN201080051904.7有效
发明人：安娜-马伊加·卡尔凯内恩;尤卡·屈内雷宁;雷夫·罗斯基尔;海基·凯斯玛 -专利权人： VTI技术有限公司;丰田自动车株式会社
申请日： 2010-10-08 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种装置（100），从振动和/或应变中采集能量并且使用电容性元件（102a、102b）和压电元件（105）这两者。操作原理是平面外电容性采集器，其中用于电容性元件的偏置电压利用压电元件（105）产生。该装置在电容器板（102a、102b）之间使用薄介电膜（104），从而将采集的能量最大化并且使采集器能够在半接触模式下操作，以便防止短路。例如，当被使用在车轮或类似物中时，在车轮的每次冲击或者每次转动中电容器关闭和打开，因此是不依赖于采集器的机械共振频率。
能量采集方法装置

[发明专利]振动微机械角速度传感器-CN201210058927.1无效
发明人：彼得里·克莱默提;凯萨·内拉;安蒂·利普萨内恩;安斯·布卢姆奎斯特;阿尔蒂·托尔克里 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2008-09-29 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器中，质量块支撑于传感器的框架处。
振动微机角速度传感器

[发明专利]振动型微机械角速度传感器-CN201080015565.7有效
发明人：安斯·布卢姆奎斯特;亚科·罗希奥 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2010-03-01 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于测量角速度的测量仪器，更具体地涉及一种振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感器包括至少两个振动质量块结构(1)、(2)、激励结构(3)、(4)以及耦合跷跷板式弹簧(6)、(7)。本发明旨在提供一种改进的传感器结构，该传感器结构具体地在小型振动型微机械角速度传感器的技术方案中可实现高效可靠测量。
振动微机角速度传感器

[发明专利]微机械角速度传感器-CN201080014785.8有效
发明人：安斯·布卢姆奎斯特 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2010-03-01 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械谐振器，其包括两个质量块，所述两个质量块沿共同轴的方向通过弹性结构而耦合，所述弹性结构包括用于将连接至质量块的至少第一杆与沿运动轴方向延伸的第二杆耦合的弹簧，所述弹簧布置成沿垂直于运动轴的运动方向的方向弯曲。本发明还涉及一种微机械谐振器阵列、传感器和导航设备。
微机角速度传感器

[发明专利]振动型微机械角速度传感器-CN200980122679.9有效
发明人：安斯·布卢姆奎斯特 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2009-04-08 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感器适于测量相对于两个轴或三个轴的角速度，并且所述角速度传感器的至少两个振动块体(34～36、52～53、71～75)适于通过共同模式而被激发至进入主运动振动。本发明的角速度传感器的结构使得特别是在小型化的振动型微机械角速度传感器中能够以良好性能实现可靠测量。
振动微机角速度传感器

[发明专利]微机械谐振器-CN200980102639.8有效
发明人：维耶勒·卡亚卡里 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2009-01-23 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明涉及微机械谐振器的设计，更准确地涉及微机电系统(MEMS)谐振器的设计。本发明提供了一种微机电系统(MEMS)谐振器的改进设计结构，其中，弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)的宽度大于电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)的宽度，所述宽度的尺寸具体确定为使谐振频率变化关于尺寸制备差异的灵敏度在公式上接近零。所述改进结构特别是在小尺寸方案中，对制备差异具有频率鲁棒性，并可作为性能良好的可靠频率基准。
微机谐振器

[发明专利]振动微机械角速度传感器-CN200880109941.1有效
发明人：彼得里·克莱默提;凯萨·内拉;安蒂·利普萨内恩;安斯·布卢姆奎斯特;阿尔蒂·托尔克里 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2008-09-29 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： G01P3/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器中，质量块借助于非对称的弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)支撑于传感器元件的框架处，以此方式，由弹性结构(1)、(2)、(3)、(4)、(22)、(24)传递的从一种运动模式到另一种运动模式的耦合使得由于弹性结构中或其支撑部中的偏斜造成的不理想性而导致的耦合消除或减少。特别是在用于角速度传感器的小型振动微机械方案中，本发明的角速度传感器结构能够以良好的性能实现可靠测量。
振动微机角速度传感器

[发明专利]角速度测量方法和振动微机械角速度传感器-CN200880017640.6有效
发明人：安西·布卢姆奎维斯特 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2008-05-29 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器的方案中，质量块借助于具有非正交的主轴和次轴的弹性结构被悬挂着，从而在检测谐振器中引起与主运动同相的测试激发，并且借助于相位检测器从主运动与次运动之间的相位差检测待测量的角速度。特别是在用于角速度传感器的小型振动微机械方案中，本发明的角速度传感器的结构能够以良好性能实现可靠测量。
角速度测量方法振动微机传感器

[发明专利]制造微机电元件的方法以及该微机电元件-CN200680044020.2有效
发明人：海基·库斯玛;伊日·涅米斯托 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2006-11-21 - 公布日： 2008-11-26 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明涉及微机电元件，例如用于测量例如加速度、角加速度、角速度或其它物理量的微机电测量仪。本发明的微机电元件包括由覆盖部件(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)密封的微机电芯片部件(46)、(60)以及至少一个电子电路部件(63)、(78)和(83)，它们彼此合适地结合。本发明的目的是提供一种改进的制造微机电元件的方法，并提供一种具体适用于小型微机电传感器方案的微机电元件。
制造微机元件方法以及

[发明专利]制造微机电元件的方法以及该微机电元件-CN200680043980.7有效
发明人：海基·库斯玛 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2006-11-21 - 公布日： 2008-11-26 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及微机电元件，比如用于测量例如加速度、角加速度、角速度或其它物理量的微机电测量仪。本发明的微机电元件包括由覆盖部件(24)、(28)、(33)、(41)、(47)、(48)密封的微机电芯片部件(46)以及相称地相互结合的电子电路部件(64)、(74)。本发明的目的是提供一种改进的制造微机电元件的方法，并提供一种具体适用于小型微机电传感器方案的微机电元件。
制造微机元件方法以及

[发明专利]微机械运动传感器的制造方法以及微机械运动传感器-CN200680021779.9无效
发明人： A·布洛姆奎斯特 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2006-06-13 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： H01L21/461 文献下载
摘要：本发明关于用于测量物理量如加速度、角加速度或角速度的测量装置，更精确地是关于微机械运动传感器。本发明运动传感器元件的晶片平面内的面积小于被方形切割且翻转90°的运动传感器元件的面积。相应地，本发明运动传感器元件(该元件已翻转90°)的高度在接合方向上小于由接合的晶片形成的晶片堆的厚度。本发明的目的是提供一种微机械运动传感器改进的制造方法，尤其是用于小型微机械运动传感器方案。
微机运动传感器制造方法以及

[发明专利]制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器-CN200680021814.7无效
发明人： H·凯斯马 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2006-06-13 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及用于测量加速度的测量装置，更具体而言涉及电容式加速度传感器。本发明的目的是提供一种改进的制造电容式加速度传感器的方法，并且提供一种电容式加速度传感器，其适合于在小型电容式加速度传感器方案中使用，并且特别适合于在测量关于若干条轴线的加速度的小型和极薄的电容式加速度传感器方案中使用。
制造电容加速度传感器方法

[发明专利]振荡微机械角速度传感器-CN200580044862.3有效
发明人： A·布洛姆奎斯特 -专利权人： VTI技术有限公司
申请日： 2005-12-30 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，并且更具体涉及振荡微机械角速度传感器。在根据本发明的角速度传感器中，关联测震质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的边缘提供至少一对电极，该电极对与质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的表面一起形成两个电容，使得该电极对的一个电容以质量(1)、(9)、(10)、(20)、(30)、(31)的主运动的函数形式增加，而电极对的另一个电容减小。根据本发明的角速度传感器结构能够在紧凑振荡微机械角速度传感器的解决方案中进行可靠且有效的测量。
振荡微机角速度传感器

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