专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]碳纳米管互连接触-CN200680020459.1无效
  • F·格斯特赖因;A·拉瓦;V·杜宾 - 英特尔公司
  • 2006-06-06 - 2008-06-25 - H01L21/768
  • 一种用于在半导体基材上形成互连的方法,包括:提供至少一种在沟槽之内的碳纳米管(304),蚀刻所述碳纳米管的至少一部分以产生开口(602),通过所述开口在所述碳纳米管上共形地沉积金属层,并且在所述基本上与所述碳纳米管连接的开口上形成金属化的接触(308)。可以使用原子层沉积工艺或无电镀覆工艺将金属层共形地沉积到所述碳纳米管上。可以沉积多个金属层以基本填充所述碳纳米管中的空隙。所述无电镀覆工艺可以使用超临界液体作为用于镀覆溶液的介质。在所述无电镀覆工艺之前可以对所述碳纳米管的润湿特性进行改性,以提高所述碳纳米管的亲水性。
  • 纳米互连接触
  • [发明专利]导电凸起的设计和方法-CN200480027161.4有效
  • M·玻尔;S·巴拉克利施南;V·杜宾 - 英特尔公司
  • 2004-09-17 - 2006-10-25 - H01L21/60
  • 涉及管芯封装的方法、技术和结构。在一个典型实现中,管芯封装互连结构包括半导体衬底以及与所述半导体衬底接触的第一导电层。该第一导电层可包括基极层金属(230)。所述基极层金属可包括Cu。该典型实现还包括与所述第一导电层接触的扩散阻挡物(225)以及在所述扩散阻挡物之上的润湿层。凸起层(215)可位于所述润湿层之上,其中所述凸起层包括Sn并且Sn可被电镀。此外,所述扩散阻挡物还适于抑制凸起层中类晶须的形成。
  • 导电凸起设计方法
  • [发明专利]互连结构和无电镀引入互连结构的方法-CN01821577.7有效
  • P·J·麦克格雷戈尔;C·托马斯;M·达塔;V·杜宾 - 英特尔公司
  • 2001-11-15 - 2004-03-24 - H01L21/768
  • 一种方法包括在一接触点(120)上面在穿过一层电介质的一个窗孔中引入一互连结构,并经一种化学引发的氧化-还原反应引入一导电的分路材料(180)。一种方法包括在一接触点上面在穿过一层电介质的一个窗孔中引入一互连结构,在互连结构露出的表面上面引入有一氧化值的一导电分路材料,并还原此分路材料的氧化值。一种装置包括一片含有带接触点的一器件的基片、一层盖住器件并有一窗孔通向接触点(120)的介质层(130)、以及配置在含有一种互连材料和一种不同导电分路材料(180)的窗孔中的一互连结构。
  • 互连结构电镀引入方法

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