专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]TEM的无失真消像散-CN201210107945.4有效
  • M.比肖夫;A.亨斯特拉;U.吕肯;P.C.蒂梅杰 - FEI公司
  • 2012-04-13 - 2012-10-17 - H01J37/153
  • 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置,该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源(202),在所述束的下游跟随有聚光器光学器件(208)、跟随有样本位置、跟随有物镜(214)、跟随有成像光学器件(216)并且跟随有检测器系统(218,224),其中在物镜与检测器系统之间,第一消像散器(250)被定位用于在将样本(210)成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器(252)被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散,其特征在于第三消像散器(254)定位于物镜与检测器系统之间,因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。
  • tem失真消像散

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