专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]MEMS气体传感器及其制作方法-CN202311013155.4在审
  • T·L·奈恩;T·O·罗彻卢;苏星 - 启思半导体(杭州)有限责任公司
  • 2023-08-14 - 2023-09-12 - B81B7/02
  • 本发明涉及一种MEMS气体传感器及其制作方法。所述MEMS气体传感器包括基底以及形成于所述基底上的至少一个气体感测单元,每个所述气体感测单元包括形成于所述基底上的绝缘层、加热器、测试电极以及气敏材料层,所述绝缘层与所述基底之间具有空腔,所述绝缘层具有贯穿设置的至少一个释放孔,所述空腔通过所述释放孔与外界连通,所述释放孔用于在形成加热器、测试电极以及气敏材料层之后去除牺牲层或牺牲结构从而释放空腔,形成所述空腔的控制难度较低,可以提高空腔的制作精度,有助于缩小气体感测单元的尺寸以及集成密度,缩小MEMS气体传感器的尺寸。
  • mems气体传感器及其制作方法

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