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[发明专利]具有改进气体分布的碎片抑制系统-CN200680021245.6无效
发明人： G·H·德拉;T·克卢肯 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2006-06-06 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种碎片抑制系统，尤其是用在用于EUV辐射和/或X射线的辐射单元中的系统。该碎片抑制系统包括一种箔捕获装置(11)，所述箔捕获装置(11)具有多个允许直路辐射的通道，以及一个或几个用于缓冲气体(7)的气体供应的进给管道(5)，所述气体供应提供给所述箔捕获装置。该箔捕获装置具有至少一个延伸分布几个所述通道的内部空间(14)，其中所述进给管道向该空间开口。本碎片抑制系统能有效地抑制碎片。
具有改进气体分布碎片抑制系统

[发明专利]电路方案-CN99802836.3有效
发明人： G·H·德拉;H·E·菲舍尔;H·G·甘赛尔;T·克卢肯;H·芒什;R·斯尼克尔斯 -专利权人：皇家菲利浦电子有限公司
申请日： 1999-12-01 - 公布日： 2004-06-23 - 主分类号： H05B41/292 文献下载
摘要：本发明涉及一种电路方案，用于操作具有相反极生的持续周期的电流的高压放电灯，所述灯中具有至少两个设置为彼此间具有一个电极距离的主电极，所述电路方案包括：用于连接一个供电电源的输入端，用于连接所述高压放电灯的输出端，以及与所述输入端相连接的装置，用于向所述高压放电灯提供一个具有预定波形的持续周期的灯电流。根据本发明，电路方案中具有用于检测代表所述电极距离的一个第一参数并根据所述第一参数形成一个第一信号的装置，以及用于根据上述形成的第一信号对灯电流的周期重新成形的装置。
电路方案