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[发明专利]可移动支撑件和光刻设备-CN201680040545.2有效
发明人： A·F·J·德格鲁特;T·A·M·汝伊尔;C·L·瓦伦汀;C·维尔纳 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及配置成支撑物体的可移动支撑件(1)，包括：用于支撑物体的支撑平面(2)；致动器组件，用于在第一方向和垂直于第一方向的第二方向上移动所述可移动支撑件，其中所述第一方向和第二方向在平行于支撑平面的平面中延伸。其中所述致动器组件包括：第一致动器(3)，配置成在第一致动方向(A1)上施加第一致动力(F1)，所述第一致动方向平行于支撑平面；第二致动器(4)，配置在第二致动方向(A2)上施加第二致动力(F2)，所述第二致动方向平行于支撑平面，其中所述第一致动方向和第二致动方向布置成相对彼此不平行且不垂直。
移动支撑光刻设备

[发明专利]载台定位系统及光刻设备-CN201580013489.9有效
发明人： W·H·T·M·安格内恩特;L·F·库尔涅夫;T·A·M·汝伊尔;S·C·J·M·范德伯格;S·H·范德穆伦;J·范埃尔克;P·H·G·乌勒姆斯;R·H·A·范利绍特 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2015-01-20 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明披露一种载台定位系统(200)，包括第一本体(20)；第二本体(22)；及联接件(24)，所述联接件(24)被布置成用以将该第一本体与该第二本体彼此联接。所述联接件包括被布置用以将所述第一本体与所述第二本体彼此联接的粘弹性元件(26)。所述载台定位系统还可包括传感器和致动器。所述传感器用以提供表示所述第一本体的位置的信号。所述致动器用以移动所述第一本体。所述第二本体被布置用以将所述致动器与所述联接件彼此联接。
定位系统光刻设备