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- [发明专利]用于加工半导体材料的方法和光学系统-CN202080034669.6在审
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S·格伯特;H·卡勒特
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创新有限公司
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2020-04-28
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2021-12-17
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H01L21/20
- 公开了一种用于加工半导体材料层、尤其是用于生成结晶半导体层的方法和光学系统。该方法具有以下步骤:‑提供具有第一激光脉冲(76)的第一激光束(74)和具有第二激光脉冲(86)的第二激光束(84),‑借助光束成形装置将第一激光脉冲(76)和第二激光脉冲(86)整形为线形的、具有短轴和长轴的激光脉冲,‑借助成像装置将成形的线形激光脉冲在半导体材料层上成像为具有短轴和长轴的照射线,其中,该方法还包括以下步骤:‑设定第一激光脉冲(76)的偏振方向在照射线(36)的短轴方向上,‑设定第二激光脉冲(86)的偏振方向在照射线的长轴方向上,以及‑使第二激光脉冲(86)相对于第一激光脉冲(76)在时间上延迟预定时间间隔Δt,所述预定时间间隔Δt选择为,使得成像在半导体材料层上的照射线具有第一最大值(M1)和第二最大值(M2)的脉冲形状的组合时间强度变化曲线(96)。
- 用于加工半导体材料方法光学系统
- [发明专利]用于致动变速器的选择器杆的设定装置-CN201811187866.2有效
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R·伯格;K·海德;S·格伯特
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FTE汽车股份有限公司
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2018-10-12
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2020-12-18
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F16H63/30
- 用于致动变速器的选择器杆(12)的设定装置(10)具有安装在变速器中或上的气缸外壳(14),选择器活塞(16)接纳在气缸外壳(14)中以纵向移动,活塞在该处界定选择地载有压力的至少一个工作室(20、22),且具有塑料活塞基体(18)。选择器活塞设有沿纵轴线(24)延伸接纳选择器杆(12)端部(28)的凹部(26),且通过具有螺钉头(32)的紧固螺钉(30)安装在选择器杆的端部上。横于纵向轴线突出到凹部中的垫圈(34)嵌入活塞基体的塑料中以形状配合地联接,沿着纵向轴线,在前侧形成用于螺钉头的第一支撑表面(36),在后侧形成用于选择器杆端部的第二支撑表面(38)。结果,选择器活塞经由垫圈通过紧固螺钉与选择器杆以无游隙方式连接。
- 用于变速器选择器设定装置
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