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[发明专利]复合炭黑颗粒-CN202180058283.3在审
发明人：姜婉;S·威特;G·威德曼;M·赫克;D·德特斯 -专利权人：欧励隆工程碳素IP有限两合公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C09C1/56 文献下载
摘要：提出一种复合颗粒，其包含部分或完全涂有至少一种无机化合物的固体核或由其组成，其(a)所述固体核是在其表面上带有官能团的炭黑颗粒，并且(b)所述至少一种无机化合物的粒径为约5至约100nm，其中所述固体核颗粒表现出约5至约500nm的初级粒径直径。
复合炭黑颗粒

[发明专利]检查设备、检查方法和制造方法-CN202110120313.0在审
发明人： A·J·登鲍埃夫;S·G·J·玛斯吉森;N·潘迪;S·威特;K·艾克玛 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2015-08-13 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种检查设备、检查方法和制造方法。通过光刻过程在衬底(W)上形成量测目标。以空间相干辐射在不同的条件下照射包括一个或多个光栅结构的目标(T)。由所述目标区域衍射的辐射(650)与参考辐射(652)干涉，在图像检测器(623)处干涉形成干涉图案。捕获所述干涉图案的一个或多个图像。根据所捕获的图像和参考辐射的知识，计算检测器处的所收集的散射辐射的复数场。根据所述复数场，计算被每个光栅衍射的辐射的合成辐射量测图像(814、814’)。根据光栅衍射谱的相反部分的合成辐射量测图像(814、814’)，获得对所述光栅中的不对称度的量度。使用合适的目标，可以根据所量度的不对称度，计算光刻过程的重叠和其他性能参数。
检查设备方法制造

[发明专利]检查设备、检查方法和制造方法-CN201580046689.4有效
发明人： A·J·登鲍埃夫;S·G·J·玛斯吉森;N·潘迪;S·威特;K·艾克玛 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2015-08-13 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：通过光刻过程在衬底(W)上形成量测目标。以空间相干辐射在不同的条件下照射包括一个或多个光栅结构的目标(T)。由所述目标区域衍射的辐射(650)与参考辐射(652)干涉，在图像检测器(623)处干涉形成干涉图案。捕获所述干涉图案的一个或多个图像。根据所捕获的图像和参考辐射的知识，计算检测器处的所收集的散射辐射的复数场。根据所述复数场，计算被每个光栅衍射的辐射的合成辐射量测图像(814、814’)。根据光栅衍射谱的相反部分的合成辐射量测图像(814、814’)，获得对所述光栅中的不对称度的量度。使用合适的目标，可以根据所量度的不对称度，计算光刻过程的重叠和其他性能参数。
检查设备方法制造

[发明专利]具有改善溶解性能的洗涤剂成形体-CN98805272.5无效
发明人： S·威特;C·布洛克;F·谢姆比尔;G·布拉瑟;H－F·克鲁斯 -专利权人：享克尔两合股份公司
申请日： 1998-05-22 - 公布日： 2000-06-21 - 主分类号： C11D17/00 文献下载
摘要：含泡腾剂的洗涤剂成形体的崩解问题能够通过向成形体中除了加入泡腾体系以外,另外加入一种可溶胀的、不溶于水的崩解助剂来克服。其中成形体由压缩的颗粒状洗涤剂组合物构成并包含1—10重量%的可溶胀的、不溶于水的崩解助剂和3—60重量%的可产生气体的泡腾体系。
具有改善溶解性能洗涤剂成形