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[发明专利]包含用于可燃气体残余物后处理的氧离子泵的电化学反应器-CN200680037221.X有效
发明人： R·B·格兰特 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2006-08-17 - 公布日： 2008-10-15 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：一种用于抽吸包含可燃气体的气体流的系统包括固态氧化物离子传导膜片(20)；及用于在低于大气压的压力下将气体流抽吸到膜片一侧的真空泵(36)。膜片的另一侧暴露在氧化气体中，并且电势差跨越膜片而施加，使得各种反应性氧化物穿过膜片，以便与可燃气体反应，进而至少产生水蒸汽。气体流随后由真空泵(36)所接收。真空泵可以具有抽吸机构，抽吸机构将气体暴露在水中，并且其中水蒸汽从气体流中冷凝。或者，冷凝器(14)提供于泵和膜片之间，用于从气体流中冷凝水蒸汽。
包含用于可燃气体残余物处理离子电化学反应器

[发明专利]与带电粒子接触的表面保护-CN200580039915.2无效
发明人： R·B·格兰特 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2005-10-11 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：在此描述了一种保护位于腔(10)中的反射镜(20)表面的方法，该腔暴露于极远紫外线(EUV)(14)辐射，该极远紫外线是由等离子体(12)产生的，等离子体发射极远紫外线和带电粒子两者。将有机分子供给该腔，其与极远紫外线相互作用以在反射镜表面上形成碳质沉积物涂层，由该等离子体发射的带电粒子冲击该沉积物，引起该沉积物从反射镜表面溅射，通过控制沉积物在该反射面上的沉积速率和从该反射镜表面除去该沉积物的速率之中的至少一种，可主动地控制该涂层厚度以防止带电粒子直接冲击到反射镜表面上和将反射镜表面由于形成涂层而致的反射率降低减至最小，该方法也适用于保护用来透射来自该腔的极远紫外线的窗表面。
带电粒子接触表面保护

[发明专利]浸入式光刻系统-CN200580022586.0无效
发明人： R·B·格兰特;P·A·斯托克曼 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2005-06-22 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：在浸入式光刻中，浸入流体(30)位于晶片(28)和透镜(24)之间，所述透镜用于穿过浸入流体(30)将图像投影在晶片(28)上。为了抑制来自浸入流体的蒸发，在浸入流体周围输送被浸入流体成分饱和的净化流体。
浸入光刻系统

[发明专利]电化学传感器-CN200480040479.6无效
发明人： R·B·格兰特;F·L·塔普 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2004-12-08 - 公布日： 2007-01-31 - 主分类号： G01N27/407 文献下载
摘要：有机污染物分子传感器(10)包括电化学电池，该电化学电池具有固态氧阴离子导体(12)、在该导体的第一表面上形成的用于暴露于被监测环境(18)的测量电极(14)和在该导体的第二表面上形成的用于暴露于参比环境(20)的参比电极16。所述电极由用于催化氧的离解吸收的材料形成或者涂覆有用于催化氧的离解吸收的材料。提供装置(32)来监测电极之间的电势差，从而，在被监测的环境中没有有机污染物分子的情况下，电极之间的电势差呈现基值V_b，而一旦将有机污染物分子引入被监测的环境中，由于在被监测的环境中有机污染物分子和氧的反应，电势差呈现测量值V_m，V_m－V_b可以指示引入到被监测环境中的有机污染物分子的数量。
电化学传感器

[发明专利]电化学传感器-CN200480029143.X无效
发明人： R·B·格兰特 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2004-09-23 - 公布日： 2006-11-15 - 主分类号： G01N27/407 文献下载
摘要：描述了一种用于在低氧气浓度的被测环境中的有机污染物分子传感器。该传感器包括电化学电池，其包括在临界温度T_c或其以上会发生氧阴离子传导的固态氧阴离子导体(14)，形成于所述导体第一表面(12)上的活性测量电极(10)，用以暴露于被监测环境中，该测量电极含有用于催化有机污染物分子氧化成二氧化碳和水的材料，形成于所述导体第一表面(12)上、邻近所述活性测量电极并且独立于它的惰性测量电极(18)，用以暴露于被监测环境中，该惰性测量电极含有对有机污染物分子的氧化反应具有催化惰性的材料，以及形成于所述导体的第二表面(22)上的参比电极(20)，用以暴露于参比环境中，该参比电极含有用于催化氧气的解离吸附的材料。提供了用于控制和监测电池温度的装置(32)。还提供了用于控制在参比电极和活性测量电极之间流动的电流I_a和在参比电极和惰性测量电极之间流动的电流I_i的装置(34)，从而可以分别控制在参比电极和活性及惰性测量电极之间流动的氧阴离子通量。监测(36)所述活性测量电极和惰性电极之间电势差，因而在有机污染物分子不存在时活性和惰性测量电极之间的电势差V_sense设为基值V_b，在有机污染物分子存在时活性和惰性测量电极之间的电势差V_sense设为测定值V_a，则V_a－V_b的值表示了存在于被测环境中的有机污染物分子的浓度。
电化学传感器

[发明专利]真空泵吸系统-CN200480027568.7有效
发明人： D·门尼;R·C·李;R·B·格兰特;B·D·布雷斯特;J·R·格林伍德 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2004-09-16 - 公布日： 2006-11-01 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：一种真空泵吸系统，包括：一种用于将第一气体如氙供应到一真空室的第一气源；一个接收从该室输出的气体的泵；一种用于供应与第一气体一起泵吸的冲洗气体如氮或氦的第二气源；一个接收由该泵排出的泵吸的气体并从该气流回收该第一气体和冲洗气体的气体分离器。该回收的第一气体通过该真空室而再循环，该回收的第二气体至少通过该泵而再循环。
真空泵系统

[发明专利]电化学传感器-CN200480023636.2有效
发明人： R·B·格兰特 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2004-08-05 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：描述了用于低氧浓度的监测环境中的有机污染物分子传感器，该传感器包括电化学电池，该电池由测量电极、参比电极和固态氧阴离子导体形成，测量电极涂覆了(或由其形成)能够催化有机污染物分子的解离吸附的催化剂，用于暴露于该监测环境，该参比电极涂覆了(或由其构成)能够催化氧解离为氧阴离子的所选催化剂，参比电极置于参比环境内，固态氧阴离子导体置于测量和参比电极之间并桥接它们，其中氧阴离子传导在临界温度T_c或其上出现。提供密封装置来使参比环境与监测环境隔离。还提供装置来控制和监测电池温度，以及控制流经参比和测量电极的电流(I_p)。在低于T_c的温度(T_ads)下，有机污染物分子吸附到测量电极表面上并解离，导致在其表面上碳沉积的积累。在高于T_c的温度下(T_tit)，电流(I_p)在参比和测量电极之间通过，从而控制从参比电极流通到测量电极的氧阴离子数量从而氧化在其表面上形成的碳沉积以及控制二氧化碳的形成。
电化学传感器

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