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[发明专利]零加热器功率激活的基于半导体金属氧化物的气体传感器-CN202310055587.5在审
发明人： R·山卡尔;李伟仁;G·布鲁诺 -专利权人：意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司
申请日： 2023-01-20 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及零加热器功率激活的基于半导体金属氧化物的气体传感器。气体传感器由薄膜半导体金属氧化物气体感测层形成，具有导热且电绝缘层，该导热且电绝缘层与气体感测层的背部直接物理接触以承载气体感测层。感测电路系统向气体感测层施加电压并且测量流过气体感测层的电流。流过气体感测层的电流被检测气体是否已经被气体感测层检测到，并且用于自加热气体感测层。支撑结构从衬底延伸以围绕导热且电绝缘层的背面承载且直接物理接触导热且电绝缘层，其中支撑结构被形成为在衬底的正面和导热且电绝缘层的背部之间形成气隙。
加热器功率激活基于半导体金属氧化物气体传感器

[发明专利]用于低功率MOX传感器的适应性测试方法和设计-CN202211461317.6在审
发明人： M·布拉赫姆;H·玛杰里;O·勒内尔;R·山卡尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开涉及用于低功率MOX传感器的适应性测试方法和设计。本公开涉及一种包括多个气体传感器的气体传感器设备。气体传感器中的每一个包括半导体金属氧化物(SMO)膜、加热器和温度传感器。SMO膜中的每一个被设计为对不同的气体浓度范围敏感。结果，气体传感器设备能够获得针对大范围的气体浓度水平的准确读数。另外，气体传感器基于由气体传感器设备检测到的当前气体浓度被选择性地激活和去激活。因此，气体传感器设备能够节省电力，因为气体传感器在适当的时候被打开而不是持续地被打开。
用于功率 mox 传感器适应性测试方法设计

[发明专利]用于低功率MOX传感器的适应性测试方法和设计-CN201811587644.X有效
发明人： M·布拉赫姆;H·玛杰里;O·勒内尔;R·山卡尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开涉及用于低功率MOX传感器的适应性测试方法和设计。本公开涉及一种包括多个气体传感器的气体传感器设备。气体传感器中的每一个包括半导体金属氧化物(SMO)膜、加热器和温度传感器。SMO膜中的每一个被设计为对不同的气体浓度范围敏感。结果，气体传感器设备能够获得针对大范围的气体浓度水平的准确读数。另外，气体传感器基于由气体传感器设备检测到的当前气体浓度被选择性地激活和去激活。因此，气体传感器设备能够节省电力，因为气体传感器在适当的时候被打开而不是持续地被打开。
用于功率 mox 传感器适应性测试方法设计

[发明专利]用于检测具有大分子的气体的气体传感器设备-CN201910128189.5有效
发明人： M·布拉赫姆;H·玛杰里;O·勒内尔;R·山卡尔;E·R·阿莱西;P·比安科利洛 -专利权人：意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开提供了用于检测具有大分子的气体的气体传感器设备。本公开涉及一种气体传感器设备，其检测诸如硅氧烷之类的具有大分子的气体(例如，具有的分子量在150g/mol和450g/mol之间的气体)。气体传感器设备包括薄膜气体传感器和体膜气体传感器。薄膜气体传感器和体膜气体传感器各自包括半导体金属氧化物(SMO)膜、加热器和温度传感器。薄膜气体传感器的SMO膜是薄膜(例如，在90纳米和110纳米厚之间)，并且体膜气体传感器的SMO膜是厚膜(例如，在5微米和20微米厚之间)。气体传感器设备基于SMO薄膜和SMO厚膜的电阻之间的变化来检测具有大分子的气体。
用于检测具有大分子气体传感器设备

[实用新型]压力传感器-CN202120093455.8有效
发明人： R·山卡尔;罗天财;A·文卡特桑 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及压力传感器。一种压力传感器，其特征在于，包括：半导体基底，具有顶表面和底表面，并且半导体基底包括从底表面延伸到半导体基底中的盲孔，盲孔限定从基底框架悬置的薄膜，其中薄膜具有顶侧表面和底侧表面；应力结构，被安装到薄膜的顶侧表面或底侧表面中的一个表面，并且应力结构被配置为引起薄膜的弯曲，弯曲限定薄膜的正常状态；以及多个压电电阻器，由薄膜支撑。利用本公开的实施例，传感器展现出比常规传感器更大的灵敏度和范围。
压力传感器

[发明专利]具有应力结构的MEMS薄膜-CN202110046972.4在审
发明人： R·山卡尔;罗天财;A·文卡特桑 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及具有应力结构的MEMS薄膜。盲孔被形成在半导体基底的底表面中，以限定从基底框架悬置的薄膜。该薄膜具有顶侧表面和底侧表面。应力结构被安装到薄膜的顶侧表面或底侧表面中的一个表面。应力结构引起薄膜弯曲，该弯曲限定薄膜的正常状态。压电电阻器由薄膜支撑。响应于施加的压力，薄膜被弯曲远离正常状态，并且压电电阻器的电阻变化是施加的压力的指示。
具有应力结构 mems 薄膜

[发明专利]气体传感器-CN201710353023.4有效
发明人： O·勒内尔;A·勒罗施;A·莱拉利亚;R·山卡尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2017-05-18 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本公开涉及气体传感器，该气体传感器包括有源传感器区域，该有源传感器区域被暴露于环境下以便检测元素。该气体传感器可以是可被固定就位或者由用户携带的空气质量传感器。该气体传感器包括在腔室上方形成的加热器。该气体传感器包括在该加热器上方的形成该有源传感器区域的有源传感器层。该气体传感器可包括诸如热板等无源导电层，该无源导电层进一步将热从该加热器传导并且分布至该有源传感器区域。该加热器可包括多个延伸件。该加热器还可包括第一导电层以及在该第一导电层上的第二导电层，其中，该第二导电层包括多个开口，该多个开口用于增加热量并且更均匀地将热从加热器分布至该有源传感器区域。
气体传感器

[发明专利]具有框架通路的气体传感器设备和相关方法-CN201710984876.8有效
发明人：靳永钢;R·山卡尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2015-09-29 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：一种气体传感器设备可以包括气体传感器集成电路(IC)以及框架，该气体传感器集成电路具有气体感测表面以及与该气体感测表面相邻的多个键合焊盘，该框架具有穿过其延伸的与该气体感测表面相邻的多条气体通路。该气体传感器设备可以包括：多条引线，每条引线具有与该框架间隔开并且键合至对应的键合焊盘的近端以及从该近端向下延伸的远端；以及填充在这些引线的近端与该框架之间的空间的包封材料。
具有框架通路气体传感器设备相关方法

[实用新型]用于检测气体的设备-CN201921173219.6有效
发明人：袁方兴;R·山卡尔;O·勒内尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及通用于检测气体的设备。本公开涉及一种选择性多气体传感器设备，其检测何时存在高浓度水平的特定气体，诸如甲烷、一氧化碳和/或乙醇。选择性多气体传感器设备基于第一温度下气体敏感材料的灵敏度与第二温度下气体敏感材料的灵敏度之间的比率来检测和标识特定气体。
用于检测气体设备

[实用新型]气体传感器设备-CN201920206973.9有效
发明人： M·布拉赫姆;H·玛杰里;O·勒内尔;R·山卡尔;E·R·阿莱西;P·比安科利洛 -专利权人：意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开涉及一种气体传感器设备，其检测诸如硅氧烷之类的具有大分子的气体(例如，具有的分子量在150g/mol和450g/mol之间的气体)。气体传感器设备包括薄膜气体传感器和体膜气体传感器。薄膜气体传感器和体膜气体传感器各自包括半导体金属氧化物(SMO)膜、加热器和温度传感器。薄膜气体传感器的SMO膜是薄膜(例如，在90纳米和110纳米厚之间)，并且体膜气体传感器的SMO膜是厚膜(例如，在5微米和20微米厚之间)。气体传感器设备基于SMO薄膜和SMO厚膜的电阻之间的变化来检测具有大分子的气体。
气体传感器设备

[发明专利]通过在气体传感器中进行脉冲加热的选择性多气体检测-CN201910673554.0在审
发明人：袁方兴;R·山卡尔;O·勒内尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开的各实施例涉及通过在气体传感器中进行脉冲加热的选择性多气体检测。本公开涉及一种选择性多气体传感器设备，其检测何时存在高浓度水平的特定气体，诸如甲烷、一氧化碳和/或乙醇。选择性多气体传感器设备基于第一温度下气体敏感材料的灵敏度与第二温度下气体敏感材料的灵敏度之间的比率来检测和标识特定气体。
气体传感器设备气体敏感材料灵敏度多气体检测气体传感器脉冲加热一氧化碳甲烷检测乙醇

[实用新型]用于检测空气质量的设备-CN201822172070.1有效
发明人： M·布拉赫姆;H·玛杰里;O·勒内尔;R·山卡尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于检测空气质量的设备。本公开涉及一种包括多个气体传感器的气体传感器设备。气体传感器中的每一个包括半导体金属氧化物(SMO)膜、加热器和温度传感器。SMO膜中的每一个被设计为对不同的气体浓度范围敏感。结果，气体传感器设备能够获得针对大范围的气体浓度水平的准确读数。另外，气体传感器基于由气体传感器设备检测到的当前气体浓度被选择性地激活和去激活。因此，气体传感器设备能够节省电力，因为气体传感器在适当的时候被打开而不是持续地被打开。
气体传感器设备气体传感器半导体金属氧化物加热器温度传感器节省电力浓度水平准确读数去激活检测地被激活敏感

[发明专利]一种柔性智能手套-CN201510613605.2有效
发明人： R·山卡尔;O·勒内尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2015-09-23 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： A41D19/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种柔性智能手套，其检测细小的手部和手指运动，同时允许穿戴者灵活地做出各种手势。柔性智能手套具有小于大约100μm的厚度，并包含放置在指关节的电容微传感器。微传感器是构建在衬底上的、由柔软材料如聚酰亚胺制成的薄膜器件。叉指蜿蜒形的电容器监测手背的张力，而平行板电容器监测手掌的接触压力。因而智能手套电响应于各种类型的手部运动。响应于体温变化的薄膜电阻器也形成在柔性衬底上。运动和温度数据经由无源RFID标签或有源无线发送器从手套传输到微处理器。ASIC嵌入智能手套以将实时传感器数据转发到远程处理器。
一种柔性智能手套

[实用新型]用于检测空气质量的器件-CN201720558907.9有效
发明人： O·勒内尔;A·勒罗施;A·莱拉利亚;R·山卡尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2017-05-18 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于检测空气质量的器件，例如一种气体传感器，该气体传感器包括有源传感器区域，该有源传感器区域被暴露于环境下以便检测元素。该气体传感器可以是可被固定就位或者由用户携带的空气质量传感器。该气体传感器包括在腔室上方形成的加热器。该气体传感器包括在该加热器上方的形成该有源传感器区域的有源传感器层。该气体传感器可包括诸如热板等无源导电层，该无源导电层进一步将热从该加热器传导并且分布至该有源传感器区域。该加热器可包括多个延伸件。该加热器还可包括第一导电层以及在该第一导电层上的第二导电层，其中，该第二导电层包括多个开口，该多个开口用于增加热量并且更均匀地将热从加热器分布至该有源传感器区域。
加热器气体传感器传感器区域第二导电层第一导电层导电层无源检测开口空气质量传感器传感器层用户携带延伸件就位传导腔室热板暴露

[实用新型]气体感测设备、室内固定装置、移动单元以及空气质量监测器-CN201720459726.0有效
发明人： O·勒内尔;罗天财;甘先耀;R·山卡尔 -专利权人：意法半导体有限公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：涉及一种电子多种类气体感测设备和微电子空气质量监测器。微电子空气质量监测器包括被调节为用于检测不同气体种类的多个感温气体传感器。通过对相邻加热器进行编程来调节每个气体传感器。形成在该传感器下方的绝缘气穴有助于将传感器保持在所期望温度。温度传感器还可与每个气体传感器集成，以提供另外的反馈控制。该加热器、温度传感器和气体传感器采用集成在单个微芯片上的可图案化薄膜的形式。该设备可被结合在计算机工作站、智能电话、衣物或其他可穿戴配饰中，用作相比于现有的空气质量传感器更小、更准确且成本更低的私人空气质量监测器。
气体设备室内固定装置移动单元以及空气质量监测器

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