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[发明专利]基于突出特征点的图像对准-CN202280016904.6在审
发明人：巫朝红;俞颂阳;P·M·桑卡 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06T7/33 文献下载
摘要：提供用于图像对准的方法及系统。一种方法包含通过将选定突出特征点检测方法应用到针对样品产生的至少一参考图像来选择三个或更多个突出特征点用于测试图像与参考图像对准。所述方法还包含检测测试图像及所述参考图像中的所述三个或更多个突出特征点及将所述测试图像中的所述经检测三个或更多个突出特征点对准到所述参考图像中的所述经检测三个或更多个突出特征点。所述方法进一步包含基于先前对准步骤的结果将所述测试图像的剩余部分对准到所述参考图像的剩余部分。
基于突出特征图像对准

[发明专利]重复缺陷检查-CN201880044655.5有效
发明人： P·M·桑卡;A·巴拉达拉真;罗柱桓 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2018-07-08 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及晶片上的重复缺陷，其可通过融合多个裸片图像来检测。在一例子中，统计地融合多个裸片图像以形成裸片融合图像。所述裸片图像中的每一者可为晶片上的不同裸片的图像。检测所述裸片融合图像中是否存在重复缺陷。可使用激光扫描系统或其它系统来产生所述裸片图像。
重复缺陷检查

[发明专利]用于在检验期间于样本上界定柔性区域的系统及方法-CN202080083582.8有效
发明人：永·张;罗涛;龚杰;P·M·桑卡 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明公开一种用于在样本上界定柔性区域的系统。所述系统包含经配置以获取一或多个割幅图像的检验系统。所述系统包含通信地耦合到所述检验系统的控制器，所述控制器经配置以：基于所述一或多个割幅图像产生一或多个中值参考裸片(MRD)图像；基于所述一或多个MRD图像产生一或多个柔性区域掩模；基于所述一或多个MRD图像的一或多个坐标识别所述一或多个柔性区域掩模上的一组对准位点；通过在所述一组识别对准位点处使一或多个扫描图像与所述一或多个MRD图像对准来执行所述一或多个柔性区域掩模与所述扫描图像之间的斑块与掩模对准；及在所述扫描图像上定位所述一或多个柔性区域掩模。
用于检验期间样本界定柔性区域系统方法

[发明专利]用于检测衬底上的缺陷的方法及系统-CN201780012679.8有效
发明人： P·M·桑卡;A·巴拉达拉真 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2017-02-23 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明揭示一种检验方法，其包含：接收衬底的多个检验图像。所述方法包含：从来自第一通道的第一图像产生第一噪声图像，及从来自额外通道的额外图像产生额外噪声图像。所述方法进一步包含：从所述第一噪声图像产生第一信噪比SNR图像，及从所述额外噪声图像产生额外SNR图像；以及识别所述第一SNR图像及所述额外SNR图像中的一或多个第一像素候选者。所述方法进一步包含：基于所述一或多个经识别第一像素候选者及所述一或多个经识别额外像素候选者，在共同像素候选位点处，将来自所述第一SNR图像的图像数据与来自所述额外SNR图像的图像数据组合以形成用于检测所述衬底上的缺陷的组合图像。
图像噪声图像像素衬底图像数据额外通道额外图像图像产生组合图像信噪比检测位点检验