专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口-CN201921753152.3有效
  • 连雷;P·韩 - 应用材料公司
  • 2019-10-18 - 2020-06-30 - H01J37/32
  • 本文公开了一种处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口。所述倾斜窗口具有安装框架,所述安装框架具有主体,所述主体包括第一区段和垂直于所述第一区段延伸的第二区段。所述第二区段具有上表面和底表面,所述第二区段的上表面相对于所述第二区段的底表面以第一锐角倾斜并且相对于所述第一区段以第二锐角倾斜。所述倾斜窗口具有面板,所述面板包括顶表面、底表面和侧壁。所述面板设置在所述安装框架中。所述面板的所述侧壁邻近所述安装框架的所述第一区段。搁置在所述安装框架的所述第二区段的所述上表面上的所述面板的所述底表面相对于所述安装框架的所述第二区段的所述底表面成所述第一锐角。
  • 处理适合端点检测系统使用倾斜窗口
  • [发明专利]消除干涉端点检测系统中的内部反射-CN201910993086.5在审
  • 连雷;P·韩 - 应用材料公司
  • 2019-10-18 - 2020-04-28 - H01J37/32
  • 公开了一种用于操作处理腔室的端点检测系统的方法,所述处理腔室具有形成在其中的顶板、位于所述处理腔室内的基板支撑件和搁置在所述基板支撑件上的基板。透明面板位于所述处理腔室的所述顶板中,所述面板相对于所述基板和所述基板支撑件以第一锐角定向。所述透明面板从所述端点检测系统接收相对于所述面板为第二锐角的入射光束。所述透明面板以垂直于所述基板和所述基板支撑件的角度将所述入射光束传输到所述处理腔室内的所述基板。
  • 消除干涉端点检测系统中的内部反射

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