专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]升降销组件-CN202280020626.1在审
  • A·苏莱曼;A·侯赛因;T·J·富兰克林;C·黄;常雪杨 - 应用材料公司
  • 2022-03-08 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 提供了用于基板处理腔室的升降销组件的方法和设备。在一些实施例中,升降销组件包括:升降销,所述升降销包括轴、头部和耦接端,所述头部被配置成抵靠在静电吸盘上;上引导件,所述上引导件包括顶端、底端和第一开口,所述第一开口从顶端延伸到底端,其中所述轴被设置并且可轴向移动穿过第一开口;下引导件,所述下引导件包括顶端、底端、第二开口和第三开口,第二开口和第三开口从顶端延伸至底端,其中第三开口大于第二开口,并且其中轴被设置并且可轴向移动穿过第二开口和第三开口;以及偏置机构,所述偏置机构耦接到轴并且被配置成将升降销偏置朝向静电吸盘。
  • 升降组件
  • [发明专利]升降杆机构-CN202280008136.X在审
  • A·苏莱曼;C·黄;R·丁德萨;T·J·富兰克林;S·巴巴扬;A·侯赛因;J·H·罗杰斯;常雪杨 - 应用材料公司
  • 2022-03-08 - 2023-09-05 - H01L21/683
  • 本文提供了用于基板处理腔室的升降杆机构的方法和设备。在一些实施例中,升降杆机构包括升降杆,所述升降杆包括轴,所述轴具有顶端、底端和在底端处的耦接端;波纹管组件设置在轴周围。波纹管组件包括:上波纹管凸缘,所述上波纹管凸缘具有开口以用于轴的轴向移动;波纹管,所述波纹管具有第一端,所述第一端耦接到上波纹管凸缘的下表面,使得轴延伸到由波纹管围绕的中心空间中;以及波纹管引导组件,所述波纹管引导组件耦接到波纹管的第二端以密封中心空间。轴在耦接端处耦接到波纹管引导组件。波纹管引导组件可轴向移动以相对于上波纹管凸缘移动升降杆。
  • 升降机构
  • [发明专利]用于半导体处理腔室部件的改良的螺纹轮廓-CN202180064596.X在审
  • R·T·若林;C·黄;T·J·富兰克林 - 应用材料公司
  • 2021-09-23 - 2023-06-13 - H01L21/67
  • 本文提供了用于在基板处理腔室中使用的部件的实施例。在一些实施例中,一种用于在基板处理腔室中使用的部件包括:主体,所述主体具有从所述主体的顶表面部分地延伸穿过所述主体的开口,其中所述开口包含螺纹部分,所述螺纹部分用于将所述主体紧固到第二处理腔室部件,其中所述螺纹部分包含多个螺纹,所述多个螺纹限定多个圆形峰部与多个圆形根部,并且其中所述螺纹部分的深度是所述多个圆形峰部中的圆形峰部与所述多个圆形根部中的相邻根部之间的径向距离,所述螺纹部分的所述深度从第一深度减小到在所述多个螺纹中的最后螺纹处的第二深度。
  • 用于半导体处理部件改良螺纹轮廓
  • [发明专利]具有递归式气体通道的喷头组件-CN202180062268.6在审
  • R·T·若林;C·黄;T·J·富兰克林 - 应用材料公司
  • 2021-09-21 - 2023-05-02 - H01J37/32
  • 本文提供喷头的实施例。在一些实施例中,喷头组件包括:冷硬板,具有多个递归式气体路径以及设置于其中的一个或多个冷却通道,其中多个递归式气体路径中的每一个流体地耦接至延伸至冷硬板的第一侧的单个气体入口和延伸至冷硬板的第二侧的多个气体出口;以及加热器板,耦接至冷硬板,其中加热器板包括从加热器板顶表面延伸至设置于加热器板内的多个气室的多个第一气体分布孔,多个第一气体分布孔对应于冷硬板的多个气体出口,以及从多个气室延伸至加热器板下表面的多个第二气体分布孔。
  • 具有递归气体通道喷头组件
  • [发明专利]喷头组件-CN202180016287.5在审
  • T·J·富兰克林;J·F·萨默斯;C·黄;R·若林;J·F·贝恩克 - 应用材料公司
  • 2021-01-15 - 2022-11-01 - H01L21/67
  • 提供了一种喷头组件及其形成方法。设备例如包括:气体分配板,气体分配板包括内部和外部,内部由单晶硅(Si)制成,且外部由单晶Si或多晶硅(poly‑Si)中的一者制成,其中结合层被设置在内部或外部中的至少一者的背面上;以及背板,背板由硅(Si)和碳化硅(SiC)作为背板的主要成分形成,其中背板结合到气体分配板的内部或外部中的至少一者的背面中的至少一者。
  • 喷头组件
  • [发明专利]基于LED的设备-CN202180013130.7在审
  • C·黄;王秀如 - 昕诺飞控股有限公司
  • 2021-02-01 - 2022-09-20 - H01L25/075
  • 本发明提供了一种光生成设备(1000),包括(i)至少两个第一LED(100)的第一系列(1100),被导电耦合,以及(ii)第一支撑件(2100),被配置为支撑所述至少两个第一LED(100),其中:(i)所述至少两个第一LED(100)包括固态LED(10);以及(ii)所述至少两个第一LED(100)包括p侧朝上的LED(110)和n侧朝上的LED(120),并且其中所述至少两个第一LED(100)被配置为生成第一LED光(101),所述第一LED光(101)具有在彼此的50nm内的主波长。
  • 基于led设备
  • [发明专利]重组糖蛋白及其用途-CN202210146800.9在审
  • K·李;C·黄;C·德马里亚 - 建新公司
  • 2014-10-22 - 2022-06-10 - C12N9/40
  • 本发明涉及重组糖蛋白及其用途。本文提供了具有改变的(例如,改进的)糖基化概貌的重组糖蛋白(例如,重组人α‑半乳糖苷酶‑A蛋白),和包括一种或多种这些蛋白的药物组合物和试剂盒。还提供了生产用于糖蛋白(例如,重组人α‑半乳糖苷酶‑A)重组表达的哺乳动物细胞的方法、产生重组糖蛋白的方法和包括施用至少一种所述重组糖蛋白(例如,重组人α‑半乳糖苷酶‑A蛋白)至受试者的治疗方法。
  • 重组糖蛋白及其用途

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