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- [发明专利]升降销组件-CN202280020626.1在审
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A·苏莱曼;A·侯赛因;T·J·富兰克林;C·黄;常雪杨
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应用材料公司
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2022-03-08
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2023-10-27
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H01L21/687
- 提供了用于基板处理腔室的升降销组件的方法和设备。在一些实施例中,升降销组件包括:升降销,所述升降销包括轴、头部和耦接端,所述头部被配置成抵靠在静电吸盘上;上引导件,所述上引导件包括顶端、底端和第一开口,所述第一开口从顶端延伸到底端,其中所述轴被设置并且可轴向移动穿过第一开口;下引导件,所述下引导件包括顶端、底端、第二开口和第三开口,第二开口和第三开口从顶端延伸至底端,其中第三开口大于第二开口,并且其中轴被设置并且可轴向移动穿过第二开口和第三开口;以及偏置机构,所述偏置机构耦接到轴并且被配置成将升降销偏置朝向静电吸盘。
- 升降组件
- [发明专利]基于LED的设备-CN202180013130.7在审
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C·黄;王秀如
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昕诺飞控股有限公司
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2021-02-01
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2022-09-20
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H01L25/075
- 本发明提供了一种光生成设备(1000),包括(i)至少两个第一LED(100)的第一系列(1100),被导电耦合,以及(ii)第一支撑件(2100),被配置为支撑所述至少两个第一LED(100),其中:(i)所述至少两个第一LED(100)包括固态LED(10);以及(ii)所述至少两个第一LED(100)包括p侧朝上的LED(110)和n侧朝上的LED(120),并且其中所述至少两个第一LED(100)被配置为生成第一LED光(101),所述第一LED光(101)具有在彼此的50nm内的主波长。
- 基于led设备
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