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[发明专利]多室真空排气系统-CN201980078994.X有效
发明人： N·P·肖菲尔德;C·M·贝利;M·A·加尔特里;A·D·曼 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：公开一种用于排空多个真空室的真空排气系统。所述真空排气系统包括：多个低压真空泵，所述多个低压真空泵被构造成在气体的分子流区域中操作，并且被构造成用于排空所述多个真空室；多个室阀，所述多个室阀用于使所述多个低压真空泵与所述多个真空室隔离或连接；多个分支通道，所述分支通道各自连接到所述多个低压真空泵的对应排气口；主通道，所述主通道由所述分支通道的汇流点形成，并且被构造成在所述多个分支通道与中压真空泵之间提供流体连通路径。所述中间真空泵被构造成排空所述主通道，并且在气体的粘性流区域中操作。存在高压真空泵，比起所述中压真空泵，所述高压真空泵被构造成在所述气体的更高压粘性流区域中操作，所述高压真空泵连接到所述中压真空泵的排气口。还存在多个旁通通道，所述多个旁通通道用于在所述多个真空室中的至少一些与高压真空泵之间提供流体连通路径；其中，所述多个旁通通道各自包括被构造成打开或关闭所述旁通通道的阀。
真空排气系统

[发明专利]一种涡旋泵-CN202180036624.7在审
发明人： N·P·肖菲尔德;A·E·K·霍尔布鲁克 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：公开了一种涡旋泵和涡旋式真空泵。涡旋式真空泵包括：绕动涡旋部；和固定涡旋部；以及包围涡旋式真空泵的泵腔室的泵壳体。所述泵还包括具有偏心轴部分的轴向延伸的驱动轴，所述绕动涡旋部安装在所述偏心轴部分上，使得所述驱动轴的旋转向所述绕动涡旋部赋予相对于所述固定涡旋部的绕动运动；轴向调节机构，用于调节所述绕动涡旋部的轴向位置，并且从而调节所述固定涡旋部与所述绕动涡旋部之间的距离，所述轴向调节机构包括多个调节构件，所述多个调节构件围绕所述驱动轴成角度地间隔开并且朝向所述绕动涡旋部延伸穿过所述泵壳体，所述多个调节构件均被构造成提供所述绕动涡旋部的可独立调节的轴向位置；以及多个密封装置，用于将所述多个调节构件与所述泵腔室隔离，所述多个密封装置围绕所述多个调节构件中的每一者延伸并且包括至少一个柔性部分，使得所述密封装置的一端可相对于所述密封装置的固定的另一端绕动。
一种涡旋

[发明专利]具有弯曲转子和定子叶片的轴流式真空泵-CN202180014387.4在审
发明人： N·P·肖菲尔德;S·道德斯威尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：一种用于在半导体制造工艺中排空室的轴流式真空泵包括具有多个转子叶片的转子以及具有多个定子叶片的定子，其中所述转子叶片和定子叶片具有弯曲形状。
具有弯曲转子定子叶片轴流真空泵

[其他]用于涡旋泵的曲柄套筒和包括该曲柄套筒的涡旋泵-CN202090000522.0有效
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克;N·P·肖菲尔德;D·贝德韦尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了用于涡旋泵的曲柄套筒和包括该曲柄套筒的涡旋泵。曲柄套筒具有纵向轴线，并且被构造成提供径向地延伸的曲柄偏置，用于在涡旋泵的绕动涡旋上赋予轨道路径。曲柄套筒还包括一体地形成的平衡块，用于减小在与曲柄偏置基本上相反的方向上径向地延伸的泵振动。
用于涡旋曲柄套筒包括

[发明专利]真空泵、用于抽空半导体处理腔室的真空泵组以及抽空半导体处理腔室的方法-CN202180008506.5在审
发明人： N·P·肖菲尔德 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：公开了用于抽空半导体处理腔室的真空泵、真空泵组和方法。该真空泵被构造成安装到半导体处理腔室，以将该腔室抽空到1 mbar和5×10‑2 mbar之间的压力。该真空泵包括：转子，其可旋转地安装在定子内。转子包括多个成角度的叶片，叶片沿着从入口到出口的螺旋路径布置。定子包括多个穿孔元件，其被布置成与所述螺旋路径相交，穿孔允许沿着螺旋路径行进的气体分子穿过穿孔元件。转子安装在磁悬浮轴承上；并且朝向真空泵的入口定位的穿孔元件包括大于40%的透过性，并且朝向真空泵的出口定位的穿孔元件包括大于30%的透过性。
真空泵用于抽空半导体处理以及方法

[发明专利]涡旋泵-CN202080052944.7在审
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克;N·P·肖菲尔德 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：一种涡旋泵(100、200)，包括：第一涡盘，其包括第一螺旋壁(124、224)；第二涡盘，所述第二涡盘包括第二螺旋壁(134、234)，所述第二螺旋壁与所述第一螺旋壁相互啮合；以及由与第一涡盘和第二涡盘不同的材料形成的衬垫(180、280)，衬垫位于第一涡盘和第二涡盘之间，在第一螺旋壁和第二螺旋壁的径向内侧或外侧。
涡旋

[发明专利]转子支撑件和具有这种转子支撑件的真空泵-CN202080042931.1在审
发明人： N·P·肖菲尔德 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：公开了一种转子支撑件(5)，其构造成将转子轴(20)可旋转地安装在真空泵中。转子支撑件(5)包括：滚动轴承(10)，用于可旋转地支撑轴(20)；插入件(70)和至少一个弹性阻尼构件(40)，所述插入件(70)和所述至少一个弹性阻尼构件(40)围绕所述滚动轴承(10)。插入件(70)包括由多个柔性构件(58)连接的内和外环形部分(54，56)，所述多个柔性构件(58)构造成在径向平面中挠曲并抵抗在轴向平面中的运动，从而吸收轴(20)的径向运动。所述至少一个弹性阻尼构件(40)由构造成在径向和轴向方向两者上挠曲的弹性体材料形成。
转子支撑具有这种真空泵

[发明专利]可调节的涡旋泵-CN202080031633.2在审
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克;N·P·肖菲尔德;D·贝德韦尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： F01C21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种涡旋泵，其包括动涡旋件和定涡旋件，其中，当动涡旋件绕其公转轴线进行公转时，动涡旋件的公转轴线可相对于5定涡旋件沿径向方向移动，或者其中，当动涡旋件绕其公转轴线进行公转时，定涡旋件可相对于动涡旋件沿径向方向移动。
调节涡旋

[发明专利]多级涡轮分子泵-CN201980091911.0在审
发明人： N·P·肖菲尔德;S·多德斯韦尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：真空泵，其包括涡轮分子级和牵引级，所述真空泵包括定子和转子。转子包括附接在一起的涡轮分子转子和牵引转子。涡轮分子转子包括毂，多个叶片从毂延伸，毂包括用于安装到马达的主轴的安装部分以及中空圆柱形部分，中空圆柱形部分从安装部分朝向涡轮分子级的出口端部延伸。牵引转子包括圆柱形裙部和远离圆柱形裙部延伸的附接部件，附接部件在涡轮分子转子的毂的中空圆柱形部分内延伸，并且附接部件在相较于涡轮分子转子的出口端部而言更靠近安装部分的点处附接到该中空圆柱形部分。
多级涡轮分子

[其他]用于泵的转子-CN201290000491.4有效
发明人： N·P·肖菲尔德;S·多德斯韦尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2012-04-23 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： F01C21/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于泵的转子，转子包括至少两个中空凸叶(160、162、164、166)，各个凸叶具有限定凸叶轮廓的外壁(208)、大致在外壁内部的空腔(210)、以及位于腔中以抵抗在旋转期间产生的凸叶上的应力的至少一个加强肋(226)。
用于转子

[发明专利]真空泵-CN201110048747.0有效
发明人： I·D·斯通斯;N·P·肖菲尔德;M·N·斯图尔特 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2004-09-23 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提出一种真空泵，该真空泵包括分子拖曳泵送机构和再生泵送机构。分子拖曳泵送机构的转子元件围绕再生泵送机构的转子元件。
真空泵

[发明专利]多级蚌壳式真空泵-CN200880109925.2有效
发明人： N·P·肖菲尔德;S·道德斯威尔 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2008-10-01 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： F04C27/02 文献下载
摘要：一种多级蚌壳式真空泵，其包括：两个壳体部件(12)，它们密封地相互连接，使得由此限定从泵的入口区域纵向地延伸到泵的出口区域的室的阵列。密封装置(30)在真空泵内设置在两个壳体部件之间，以防止流体在所述部件相连的位置输送入和输送出真空泵。设置分散细长通道组(33、34、36、38)，其位于密封装置(30)与室组(14、16、18、20、22)之间。通道用于在真空泵的工作期间保护密封装置(30)免受流经所述室的流体。每个通道都构造为用于接收与邻近通道所要接收的屏障流体具有不同压力的屏障流体。
多级蚌壳真空泵

[发明专利]真空泵-CN200680028728.9有效
发明人： N·P·肖菲尔德;P·H·伯奇 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2006-07-18 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：一种多级真空泵包括容纳多级转子组件的定子，每一个级都包括相互啮合的罗茨转子部件，其中在泵的入口级处的转子部件的顶端半径大于在泵的出口级处的转子部件的顶端半径。
真空泵

[发明专利]真空泵-CN200480026896.5有效
发明人： I·D·斯通斯;N·P·肖菲尔德;M·N·斯图尔特 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2004-09-23 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：一种差动地泵吸的质谱计系统，包括一台有多个压力室的质谱计、一个附接于其上的真空泵和一个连接于该泵出口的前级泵；该真空泵包括至少三个泵入口、一第一泵吸区、一在第一泵吸区下游的第二泵吸区、一在第二泵吸区下游的第三泵吸区、一个从一压力相当小的第一压力室来的出口、一个用于该质谱计的压力中等的第二压力室的出口和一个用于该质谱计的压力最高的第三压力室的出口；该第一压力室连接在第一泵入口上，通过该第一泵入口的流体能从第一室进入该泵而向着一个泵出口通过第一、第二、第三泵吸区，该第二压力室连接在第二泵入口上，通过该第二泵入口的流体能进入该泵而在所述各区中只朝该泵出口的方向只通过第二和第三泵吸区，该第三压力室连接在第三泵入口上，通过该第三泵入口的流体能进入该泵而在所述各区中朝该泵出口的方向只通过第三泵吸区的至少一部分；该前级泵使得在使用中从质谱计泵吸的流体质量的至少99％通过该真空泵和前级泵而抽走。
真空泵

[发明专利]真空泵-CN200480028403.1有效
发明人： I·D·斯通斯;N·P·肖菲尔德;M·N·斯图尔特 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2004-09-23 - 公布日： 2006-11-08 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：真空泵包括分子拖曳泵送机构和再生泵送机构。分子拖曳泵送机构的转子元件围绕再生泵送机构的转子元件。
真空泵

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