专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体器件和用于制造半导体器件的方法-CN201310527101.X有效
  • A.迈泽尔;M.佩尔茨尔;T.施勒泽 - 英飞凌科技奥地利有限公司
  • 2013-10-31 - 2017-06-27 - H01L29/78
  • 本发明涉及半导体器件和用于制造半导体器件的方法。一种半导体器件被至少部分地形成在半导体衬底中,该衬底包括第一和第二相对主表面。该半导体器件包括单元场部分和接触区域,该接触区域被电耦合到该单元场部分,该单元场部分包括至少晶体管。该接触区域包括与其它衬底部分绝缘且包括半导体衬底的一部分的连接衬底部分;与第二主表面邻近且与连接衬底部分接触的电极;和在第一主表面上设置的金属层,连接衬底部分被电耦合到金属层以在电极和金属层之间形成欧姆接触。连接衬底部分未通过在第一和第二主表面之间设置的导电材料而被电耦合到单元场部分的部件。
  • 半导体器件用于制造方法
  • [发明专利]沟槽晶体管和沟槽晶体管的制造方法-CN201210214621.0有效
  • F.希尔勒;M.佩尔茨尔 - 英飞凌科技奥地利有限公司
  • 2012-06-27 - 2013-01-02 - H01L29/78
  • 沟槽晶体管和沟槽晶体管的制造方法。半导体器件包括半导体本体,半导体本体包括第一表面和第二表面。所述半导体器件进一步包括从第一表面延伸到半导体本体内的沟槽结构。所述沟槽结构包括在沟槽结构的第一部分中的第一栅极介电部分和第一栅极电极部分,以及在沟槽结构的第二部分中的第二栅极介电部分和第二栅极电极部分。所述第一部分中的沟槽结构的宽度等于第二部分中的沟槽结构的宽度。所述半导体器件进一步包括在沟槽结构的侧壁处毗连第一和第二栅极介电部分的本体区。所述第一栅极介电部分的底部边缘与第一表面之间的距离d1和第二栅极介电部分的底部边缘与第一表面之间的距离d2满足50nm
  • 沟槽晶体管制造方法

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