专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]通过移动来快速冷却基板的方法-CN201080015868.9无效
  • W·阿德霍尔德;L·特蒂特斯基;A·亨特;M·特兰 - 应用材料公司
  • 2010-01-28 - 2012-02-29 - H01L21/324
  • 本文提供用于冷却基材的方法。在某些实施例中,一种用于冷却一基材的方法包含:在一处理腔室中从一准备温度至一大于约摄氏900度的顶峰温度加热一基材;以及通过以至少约3mm/s的速率在垂直于该基材的上表面的方向上移动该基材,从该顶峰温度的约摄氏50度以内冷却该基材。在某些实施例中,通过移动该基材而冷却该基材进一步包含:移动该基材至第一位置,该第一位置具有离该处理腔室的该上表面的第一距离;以及随后移动该基材至第二位置,该第二位置具有比该第一距离更远离该上表面的第二距离。在某些实施例中,接近顶峰温度的滞留时间为约0.6秒或更少。
  • 通过移动快速冷却方法

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