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[发明专利]压力平衡系统和电化学系统-CN202080080705.2在审
发明人： C·塞尔;M·布拉特;J·汉特谢尔;T·施密特;A·施特赖歇尔;A·莱赫特福斯;M·戈尔德舍;M·埃本;F·施瓦兹;M·艾勒斯-雷斯维施 -专利权人：爱尔铃克铃尔股份公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H01M50/342 文献下载
摘要：本发明涉及一种压力平衡系统，该压力平衡系统能够简单地制造并且借助该压力平衡系统能够在过压的情况下实现压力平衡，本发明提出，压力平衡系统包括：压力平衡装置，该压力平衡装置在关闭状态下在容器的内部空间与压力平衡系统的周围环境之间起作用；和适配器元件，该适配器元件用于将压力平衡装置安固在容器处，其中为了在容器的内部空间与压力平衡系统的周围环境之间进行的平衡，压力平衡装置能被带到打开状态中。
压力平衡系统电化学

[发明专利]衬底上结构的测量-CN201180027375.1有效
发明人： M·埃本;H·克拉莫;N·莱特;R·埃尔瓦埃森切兹;M·斯拉伯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2011-05-03 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：衍射模型和散射仪用于重构衬底上的显微结构(30)的模型。限定多个备选结构，每个通过多个参数(p1、p2等)表示。通过模拟所述备选结构中的每一个的照射来计算多个模型衍射信号。通过将一个或更多个所述模型衍射信号与由结构(30)检测的信号拟合来重构所述结构。在备选结构的生成过程中，使用模型选配方案，其中参数被指定为固定的或可变的。在可变参数当中，特定参数被约束以根据特定约束(A)，例如线性约束，一起变化。通过参照用于指定一个或更多个对测量感兴趣的参数的用户输入(988)并通过模拟重构过程重构来确定约束(990)的优化组，并因此确定优化的模型选配方案(994)。使用多个备选模型选配方案通过模拟参考结构的组(984)的重构的“参数顾问”过程(986)可以确定优化的模型选配方案。在生成参考结构的过程中，限制可以被应用(985)以排除“不现实”的参数组合。
衬底结构测量