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[发明专利]衬底限位系统-CN202280017547.5在审
发明人： M·A·C·费许伦;T·波耶兹 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2022-02-03 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种衬底限位系统，包括：衬底台、和多个周向布置的限位器，所述多个周向布置的限位器中的每个限位器包括弹簧，其中，所述弹簧具有近端和远端，其中，所述弹簧的所述远端是能够径向移位的，并且其中所述弹簧的所述近端的基部在固定部位处固被定至所述衬底台。
衬底限位系统

[发明专利]物体保持器、静电片和制造静电片的方法-CN202180040857.4在审
发明人： B·L·W·M·范德文;K·范贝尔克;M·A·范德柯克霍夫;R·F·M·M·哈梅林克;沙哈布·谢尔文;M·A·C·费许伦;J·B·C·恩格伦;M·克鲁兹恩卡;塔莫·伊特尔迪克;奥列克西·谢尔吉约维奇·加拉克提诺夫;K·G·H·詹森;J·A·C·M·皮耶宁堡;彼得·范德尔夫特 -专利权人： ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种配置成支撑物体的物体保持器，所述物体保持器包括：芯部本体，所述芯部本体包括多个突节，所述多个突节具有位于支撑平面中以用于支撑所述物体的远侧端部；静电片，所述静电片位于所述突节之间，所述静电片包括被夹在介电层之间的电极；以及周向屏障，所述周围屏障用于减小从所述物体与所述芯部本体之间的空间逃逸的气体的流出量。
物体保持静电制造方法

[发明专利]包括静电夹具的物体保持器-CN202080018259.2在审
发明人：关天男;A·A·梅尤恩迪杰克斯;P·J·M·范吉尔斯;M·A·C·费许伦 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本文披露了一种被布置成支撑物体的物体保持器，所述物体保持器至少包括芯层和电极层；其中，所述物体保持器具有被布置成由静电夹具夹持至用于所述物体保持器的台上的表面；其中，所述物体保持器包括多个突节布置，每个突节布置包括突节主体、沟槽、突节电极和绝缘部分；其中，对于每个突节布置，所述突节主体的部分从所述物体保持器的所述表面突出，所述沟槽在与所述物体保持器的所述表面平行的平面中围绕所述突节主体，所述沟槽沿与所述物体保持器的所述表面正交的方向从所述物体保持器的所述表面延伸以至少通过所述电极层，所述突节电极由所述电极层构成并且围绕所述沟槽，并且所述绝缘部分由所述电极层构成并且围绕所述电极层；其中，所述电极层还包括一个或更多个夹持电极，所述夹持电极是静电夹具的电极，所述静电夹具被布置成将所述表面夹持至用于所述物体保持器的台上，并且，在所述电极层内，突节布置的每个绝缘部分由夹持电极围绕；并且其中，所述物体保持器包括布置在每个突节电极与所述芯层之间的一个或更多个导电通孔。
包括静电夹具物体保持

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