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[发明专利]由至少两个接合的结构层形成的MEMS器件及其制造工艺-CN201611259550.0有效
发明人： G·阿勒加托;L·奥吉欧尼;M·加拉瓦利亚;R·索玛彻尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及一种微机电器件，其具有半导体材料的第一衬底和半导体材料的第二衬底，第二衬底具有由与其一体的凸出部分界定的接合凹部。接合凹部与第一衬底形成封闭腔室。接合结构布置在封闭腔室内并且接合到第一和第二衬底。在第一和第二衬底之间选择的衬底中形成微机电结构。该器件通过以下步骤形成：在第一晶片中形成接合凹部；在所述接合凹部中沉积接合质量体，所述接合质量体具有比所述接合凹部更大的深度；以及接合两个晶片。
至少两个接合结构形成 mems 器件及其制造工艺

[发明专利]管壳式换热器、用于这种换热器的翅片管以及相应的方法-CN201680074849.0在审
发明人： M·洛特利;M·加拉瓦利亚 -专利权人：布莱姆巴那和洛利有限公司
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： F28F1/42 文献下载
摘要：一种纵流管壳式换热器，包括容纳壳体101，第一流体可以在所述容纳壳体101内基本上平行于所述壳体101的纵向轴线地流动，所述容纳壳体101在其内部容置一束管件2和多个栅格状挡板102，管件2基本彼此平行且平行于所述壳体101的纵向轴线，所述多个栅格状挡板102基本上横向于所述壳体101的纵向轴线从而支撑所述管件2，第二流体在所述一束管件2中流动。所述管件2在其外表面的至少一部分上设置有多个低翅片21，所述低翅片21以第一前进角α螺旋地设置于所述管件2的外表面上，并且所述低翅片的轮廓由具有第二前进角β的螺旋沟槽22所间断，其中α≠β。
管件容纳壳体纵向轴线翅片壳体挡板前进角栅格状束管平行管壳式换热器壳式换热器彼此平行第二流体第一流体螺旋沟槽翅片管换热器流管容置流动支撑

[实用新型]微机电器件-CN201621483563.1有效
发明人： G·阿勒加托;L·奥吉欧尼;M·加拉瓦利亚;R·索玛彻尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及一种微机电器件，其具有半导体材料的第一衬底和半导体材料的第二衬底，第二衬底具有由与其一体的凸出部分界定的接合凹部。接合凹部与第一衬底形成封闭腔室。接合结构布置在封闭腔室内并且接合到第一和第二衬底。在第一和第二衬底之间选择的衬底中形成微机电结构。该器件通过以下步骤形成在第一晶片中形成接合凹部；在所述接合凹部中沉积接合质量体，所述接合质量体具有比所述接合凹部更大的深度；以及接合两个晶片。
微机器件