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[发明专利]用于激光到液滴对准的系统和方法-CN202180048047.3在审
发明人： P·哈吉;S·W·麦克罗根;R·N·雅克奎斯;D·J·里格斯;L·M·马蒂斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：提供了用于转向对准激光束和燃料目标的系统、设备和方法。一种示例方法可以包括：以第一速率生成指示燃料目标与激光束之间的第一重叠的第一感测数据。该示例方法还可以包括：以第二速率生成指示燃料目标与激光束之间的第二重叠的第二感测数据。该方法还可以包括：以第三速率并且基于第一感测数据和第二感测数据来生成转向控制信号，转向控制信号被配置为使激光束或燃料目标转向。在一些方面中，第二速率可以不同于第一速率，并且第三速率可以大约等于第一速率。在其他方面中，第一速率和第二速率可以大约等于第三速率。
用于激光到液滴对准系统方法

[发明专利]极紫外光源的校准系统-CN202080088437.9在审
发明人： D·J·里格斯;L·M·马蒂斯;R·L·唐克;M·H·A·里恩德斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种量测系统，包括：光束量测装置，被配置为感测经放大光束的一个或多个方面并基于感测到的一个或多个方面对经放大光束进行调整；目标量测装置，被配置为在目标与经放大光束相互作用之后测量被修改目标的一个或多个属性，并且确定被修改目标达到参考校准状态的时刻；以及控制装置，被配置为：从目标量测装置接收参考校准状态和达到参考校准状态的时刻；基于接收到的参考校准状态和达到参考校准状态的时刻，确定经放大光束的光束校准状态；并且向光束量测装置提供光束校准状态。
紫外光源校准系统