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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]制造加速计的方法-CN03807124.X无效
发明人：张汇文;K.P.D.徐;郭杰伟;S·卡舍伽马桑打瑞;K·P·布赖恩 -专利权人：森法巴股份有限公司
申请日： 2003-01-29 - 公布日： 2005-07-20 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：制造于晶片上的器件通过在覆盖晶片上形成一种样式的粘合环，且对齐并在热压缩下粘合两个晶片到一起而被封装，所以每个器件(20)的操作部件(22)被各自的粘合环(21)包围。所述的粘合环通过占据被环跨接的器件上表面中的任何沟槽(25)或其它不连续部分，如导电轨(23)而提供密封。加速计是通过在衬底(1)的顶部蚀刻至少一个空腔，粘合中间材料层(6)至所述衬底的顶部上，沉积金属化层至中间层上，且蚀刻金属化层和中间层以形成垂悬于每个空腔上的传感器结构而制造的。沉积在衬底(30)上的下金属化层的导电轨(31，32)与导电轨(37，38)交叉而没有电连接，导电轨(37，38)沉积于中间层(35，36)的上面。电桥是通过在中间层下边形成空腔(33，34)以容纳下导电轨而制造的。
制造加速方法

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共 1 条

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