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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于晶片接地的方法、设备和系统-CN202080060552.5在审
发明人：王義向;刘士兵;曹善会;邱康生;窦菊英;罗映;李瀛龙;李强;R·范德威尔克;J-G·C·范德托恩 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：公开了用于晶片接地和晶片接地位置调节的系统和方法。第一方法可以包括：接收与通过电信号接地的晶片相关联的电特性的第一值；使用至少第一值确定第一控制参数；以及使用第一控制参数和第一值控制电信号的特性。用于调节晶片的接地位置的第二方法可以包括：终止晶片与接触晶片的至少一个接地引脚之间的电连接；调节晶片与接地引脚之间的相对位置；以及恢复接地引脚与晶片之间的电连接。第三方法可以包括：引起接地引脚通过撞击穿透晶片上的涂层；以及在接地引脚与晶片之间建立电连接。
用于晶片接地方法设备系统

[发明专利]适用于粒子束装置的台架装置-CN202080027751.6在审
发明人： H·W·H·赛维特;J-G·C·范德托恩;R·范德威尔克;A·E·库伊克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：粒子束装置包括导电物体(402)和载物台(404)，载物台被配置为支撑物体(414)。载物台包括台体和导电涂层(420)，导电涂层被提供在台体的表面的至少一部分上。导电物体被设置为与导电涂层邻近并且台体被提供有与导电涂层的边缘部分邻近的特征(502)。该特征被布置为使得当电压被施加到导电物体和导电涂层两者时，降低导电涂层的边缘部分的附近区域的电场强度。
适用于粒子束装置台架

[发明专利]包括静电夹具的载物台-CN201980092597.8在审
发明人： J-G·C·范德托恩;J·G·A·胡尹克;H·W·H·赛维特;A·E·库伊克;M·J·C·龙德;A·M·韦林克;刘士兵;罗映;王義向;陈嘉尧;朱博航;J·范索伊斯特 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了一种用于保持物体的载物台，该载物台包括：被布置为将物体夹持在载物台上的静电夹具；被布置为中和静电夹具的残余电荷的中和器；被布置为控制中和器的控制单元，其中残余电荷是在没有电压被施加到静电夹具时存在于静电夹具上的静电荷。
包括静电夹具载物台

[发明专利]平台装置-CN201980091986.9在审
发明人： J-G·C·范德托恩;P·M·H·维瑟斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种平台装置，包括载物台，该载物台被配置为保持衬底，该载物台包括被配置为由电源充电的电极以及被配置为将电极电连接到电源的电连接；以及电场屏蔽，该电场屏蔽被配置为屏蔽电连接的至少一部分。
平台装置

[发明专利]用于在带电粒子装置中进行光学测量的装置-CN201980087228.X在审
发明人： J-G·C·范德托恩;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：带电粒子检查系统可以包括具有孔径或一个以上孔径的屏蔽板，例如，以允许通过附加仪器进行附加检查，该附加仪器需要到感兴趣区域的视线。诸如窗口元件或凸起边缘的场成形元件被放置在孔径处以防止或减少电场的分量。
用于带电粒子装置进行光学测量

[发明专利]通过多射束设备的个体射束控向的经改善扫描效率-CN201980086605.8在审
发明人： J-G·C·范德托恩 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：公开了在多射束设备中观察样品的系统和方法。多射束设备可以包括偏转器阵列，其被配置为将多个束波中的个体束波进行控向，该偏转器阵列中的每个偏转器具有对应的驱动器，其被配置为接收用于对对应的个体束波进行控向的信号。该设备还可以包括：具有电路装置的控制器，其用于获取样品的轮廓数据并且通过基于所获取的轮廓数据向对应的驱动器提供信号来控制每个偏转器；以及控向电路装置，包括：对应的驱动器，其被配置为生成驱动信号；对应的补偿器，其被配置为接收该驱动信号和来自与相邻偏转器相关联的其他相邻驱动器的一组驱动信号，并且基于驱动信号和该组驱动信号来生成补偿信号以补偿对应的偏转器。
通过多射束设备个体射束控改善扫描效率

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