专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有动态调平的同轴升降装置-CN201980057060.8有效
  • J·M·舒浩勒;J·C·伯拉尼克;A·K·班塞尔 - 应用材料公司
  • 2019-08-28 - 2023-10-10 - C23C16/458
  • 本文描述的实施例总体上涉及具有同轴升降装置的工艺腔室。在一些实施例中,装置包括底部碗升降器和底座升降器两者。底部碗升降器支撑底部碗,并且被配置成将底部碗移动到减小工艺容积的位置。底部碗升降器与底座升降器同轴,并且底部碗升降器和底座升降器被附接以用于真空操作。底座升降器包括多个致动器以创建动态升降机构。两种系统完成了嵌套系统(nested system),使得底部碗升降器是可调节的,并且可以关闭底部碗,从而创建对称且小的工艺容积。底座升降器可独立地移动到底座升降器的工艺位置,并且沿所期望的方向倾斜,而不受底部碗升降器的干扰,从而增加了经处理的基板上的膜均匀性。
  • 具有动态同轴升降装置

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