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[发明专利]管靶的制造方法-CN01143725.1有效
发明人： R·赫克;R·于特纳;D·卢普顿;E·迈尔;P·麦恩茨;H·曼哈德特;B·施滕格;H·青格 -专利权人： W.C.贺利氏股份有限两合公司
申请日： 2001-12-19 - 公布日： 2002-08-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及阴极溅射设备的管靶的一种制造方法,该管靶由一个金属内管和一个同心包围该内管的金属外管组成。其中该内管用具有第一熔点TS1≥900K的第一种材料,而该外管则用具有第二熔点TS2≤800K的第二种材料制成,且该外管的内直径与该内管的外直径以形状相合的方式进行机械的固定连接。按照本发明,把熔融状态的第二种材料浇入一个圆筒形的、加热的竖放铸模中来制成外管,其中该铸模具有一根加热棒,该加热棒由该内管组成;在铸模和内管之间的空腔用熔融状态的第二种材料注满后在内管和铸模之间产生第一温度梯度;在铸模的上侧和下侧之间产生第二温度梯度;同时外管从里向外和从下向上进行冷却。
制造方法

[发明专利]通过非贵金属氧化物的细小颗粒弥散硬化的不含金铂材-CN01133170.4有效
发明人： H·曼哈德特;D·F·卢普顿;W·科克 -专利权人： W.C.贺利氏股份有限两合公司
申请日： 2001-09-18 - 公布日： 2002-04-17 - 主分类号： C22C5/04 文献下载
摘要：本发明涉及制备一种以非贵金属氧化物细小颗粒弥散硬化的不含金的铂材,其中非贵金属或者是含量为0.01－0.5重量%的钪,或者是由钪和元素锆、钇、铈中的至少一种金属的混合物/合金,该混合物/合金中的非贵金属总含量为0.05－0.5重量%。
通过贵金属氧化物细小颗粒弥散硬化不含金铂材