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[发明专利]标签装置、其用途和用于标签装置的包装-CN201910450229.8在审
发明人： G·本韦努蒂;E·瓦格纳;C·桑杜 -专利权人： 3D-奥克赛茨公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本发明公开了标签装置，包括多功能材料薄膜，所述多功能材料薄膜包括提供多个独立的物理量的多个结构，所述物理量中的每一个被图案化成通过一个或多个测量技术进行测量的目的，其中，所述多个结构中的每一个响应于选择的测量技术而展现出特定信号，其中，所述多个结构中的每一个具有在纳米至厘米的范围内的外部大小。还公开了标签装置在认证方法中的用途、用于标签装置的包装。
标签装置物理量多功能材料测量薄膜包装本图案化认证外部响应

[发明专利]化学气相沉积方法-CN201580025756.4有效
发明人： G·本韦努蒂;E·瓦格纳;C·桑杜 -专利权人： 3D-奥克赛茨公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：一种化学气相沉积方法包括下列步骤：提供高真空室，并且在高真空室内：放置基板表面；平行于基板表面放置掩模，其中掩模包括一个或多个开口；调节基板表面和掩模之间的确定的尺寸的间隙；和利用视线传播使至少一种前体物种的多个化学前体束朝向掩模取向，所述多个化学前体束中的每一个都从独立的点状源发出，并且化学前体的分子穿过一个或多个掩模开口撞击到基板表面上以沉积在其上。至少一部分化学前体分子在分解温度下在基板表面上分解。该方法还包括调节基板表面的温度使其高于或等于化学前体分子分解温度，从而保持高于掩模温度，并且将掩模温度维持在分解温度以下，从而导致在基板表面上但不在掩模上的化学前体的分解和膜的生长；和利用加热装置加热基板表面。
基于模板沉积方法制造载有多功能追溯代码标签应用

[发明专利]化学束薄膜沉积设备和使用该设备进行薄膜沉积的方法-CN201410352919.7有效
发明人： G·本韦努蒂;E·阿拉里瓦格纳;C·派特 -专利权人： ABCD技术有限公司
申请日： 2009-10-08 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学束薄膜沉积设备，该设备利用化学前体分子的视线传播在高真空或超高真空条件下操作，该化学束薄膜沉积设备具有多个前体隙流源和位于前体隙流源中的多个相同或不同的前体；该化学束薄膜沉积设备使用束阴影效应以准确并可预测的方式改变前体分子在基板上的碰撞率分布，从而获得厚度、化学成分或者微米或纳米级的材料特性的梯度或局部图形并获得薄膜的直接的3D嵌入式结构。该设备用于R&D研究和生产，同时能够高度控制适于原型法大量生产的沉积方法。
沉积系统

[发明专利]汽相沉积系统-CN200980140045.6有效
发明人： G·本韦努蒂;E·阿拉里瓦格纳;C·派特 -专利权人： ABCD技术有限公司
申请日： 2009-10-08 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种用于对多种种类进行真空沉积的喷嘴，所述喷嘴被分成多个四分部，每个四分部包含至少一个用于所述种类的出口，所述四分部中的每一个定义位于下方的隔间的壁，该隔间包含至少一个种类，其中两个相邻的隔间包含不同种类。
沉积系统