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[发明专利]具有高纯度输送气体的吸附型储运容器和相关方法-CN202180072113.0在审
发明人： J·R·德斯普雷斯;J·斯威尼;E·A·斯特姆 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F17C11/00 文献下载
摘要：描述储存和分配系统和相关方法，其用于储存和从容器选择性分配试剂气体锗烷，在所述容器中所述试剂气体保持与储存容器的内部的固体吸附介质呈吸附关系，且其中所述方法和分配系统提供所述试剂气体从所述储存容器的分配，其中在所分配试剂气体中含有含量减少的大气杂质。
具有纯度输送气体吸附储运容器相关方法

[发明专利]基于吸附剂的机械调节式气体存储及输送容器-CN201980060167.8有效
发明人： J·R·德普雷斯;J·D·斯威尼;E·A·斯特姆 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2019-03-21 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F17C11/00 文献下载
摘要：本发明描述用于从其中试剂气体与固体吸附剂介质保持吸附关系的容器分配所述试剂气体的存储及分配容器及相关系统及方法，所述试剂气体经容纳在超大气压下且所述固体吸附剂介质包括金属有机骨架材料。
基于吸附剂机械调节气体存储输送容器

[发明专利]吸附剂与流体供应包装及包括其的设备-CN201680073124.X有效
发明人： L·H·杜波依斯;J·D·卡拉瑟斯;M·A·彼特鲁斯卡;E·A·斯特姆;S·M·威尔逊;S·M·卢尔寇特;B·C·亨德里克斯;J·D·斯威尼;M·J·沃德珍斯奇;O·比尔;唐瀛;J·R·德斯普雷斯;M·T·马洛;C·斯坎内尔;D·埃尔策;K·默西 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：本发明描述不同类型及形式的吸附剂，如有用地用于气体供应包装中，所述气体供应包装包含盛放此吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述气体供应包装排放所述吸附气体的气体施配组合件。同样描述对应气体供应包装，及处理所述吸附剂，及制造所述气体供应包装的各种方法。
吸附剂流体供应包装包括设备

[发明专利]来自天然碳水化合物的微孔碳吸附剂-CN201580045319.9有效
发明人： M·A·柏图斯卡;E·A·斯特姆;S·M·威尔逊 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2015-08-22 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：本发明揭示一种碳热解物材料，其具有作为吸附剂以及用于能量存储及其它应用的效用。所述热解物材料包括从例如多糖的低成本天然存在的碳水化合物源材料衍生的微孔碳。在吸附剂应用中，所述碳热解物可以例如以颗粒形式或整体形式而生产，其具有高密度及高孔隙体积以最大化气体存储及输送，其中所述碳热解物吸附剂的孔隙大小分布可经由活化条件而调谐以优化所关注的特定气体的存储容量及输送。
来自天然碳水化合物微孔吸附剂

[发明专利]压力调节器和流体供给封装包-CN201810283916.0有效
发明人： J·R·德普雷斯;J·D·斯威尼;E·E·琼斯;M·B·多纳塔奇;C·派迪;E·A·斯特姆;B·L·钱伯斯;G·S·鲍姆加特 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2013-09-20 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： F16K17/32 文献下载
摘要：本发明涉及压力调节器和流体供给封装包。一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
流体供给封装包压力调节器流体阀头压力调节流体尖峰分配容器流体分配压力尖峰抗压力贮存对抗分配流动

[发明专利]用于改善注入束和源寿命性能的碳掺杂剂气体和协流-CN201810453542.2在审
发明人： O·比尔;E·A·斯特姆;唐瀛;S·N·耶德卫;J·D·斯威尼;S·G·瑟吉;B·L·钱伯斯 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2013-02-13 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本申请涉及用于改善注入束和源寿命性能的碳掺杂剂气体和协流。具体讲，本申请描述了离子注入的方法和系统，其中使用碳掺杂剂源材料实施碳掺杂。描述了各种气体混合物，包括碳掺杂剂源材料，以及用于所述碳掺杂剂的协流气体结合物。描述了在碳掺杂剂源材料中提供原位清洗，以及描述了具体的碳掺杂剂源气体、氢化物气体、氟化物气体、惰性气体、氧化物气体和其他气体的结合物。
碳掺杂剂源材料结合物氟化物气体气体混合物氢化物气体氧化物气体惰性气体原位清洗碳掺杂源气体离子申请

[发明专利]微晶纤维素热解吸附剂和其制造与使用方法-CN201680059769.8在审
发明人： E·A·斯特姆;S·M·威尔逊;M·A·柏图斯卡 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： B01J20/24 文献下载
摘要：揭示一种纤维素碳热解材料，其可用作气体吸附剂以用于气体存储和递送装置、气体过滤器、气体纯化器和其它应用中。所述纤维素碳热解材料包含源于纤维素前体材料(例如微晶纤维素)的微孔碳。在吸附剂应用中，所述纤维素碳热解物可以(例如)微粒形式或单片形式产生，其具有高密度和高孔体积以最大化气体存储和递送，并且所述碳热解吸附剂的孔径分布可通过活化条件调谐以优化所关注特定气体的存储容量和递送。吸附剂组合物可包括其它非纤维素热解组分。
碳热解纤维素吸附剂微晶纤维素气体存储递送热解调谐吸附剂组合物气体纯化器气体过滤器气体吸附剂纤维素前体存储容量单片形式递送装置非纤维素活化条件孔径分布微粒形式最大化高孔可用微孔应用优化制造

[发明专利]用于改善注入束和源寿命性能的碳掺杂剂气体和协流-CN201380019986.0有效
发明人： O·比尔;E·A·斯特姆;唐瀛;S·N·耶德卫;J·D·斯威尼;S·G·瑟吉;B·L·钱伯斯 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2013-02-13 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：描述了离子注入的方法和系统，其中使用碳掺杂剂源材料实施碳掺杂。描述了各种气体混合物，包括碳掺杂剂源材料，以及用于所述碳掺杂剂的协流气体结合物。描述了在碳掺杂剂源材料中提供原位清洗，以及描述了具体的碳掺杂剂源气体、氢化物气体、氟化物气体、惰性气体、氧化物气体和其他气体的结合物。
碳掺杂剂源材料结合物氟化物气体气体混合物氢化物气体氧化物气体惰性气体原位清洗碳掺杂源气体离子

[发明专利]流体供应组件-CN201680050905.7在审
发明人： G·M·汤姆;W·K·奥兰德;J·A·迪茨;M·J·沃德金斯楷;E·A·斯特姆;S·K·迪马西奥;王录平;J·V·麦克马纳斯;S·M·露尔寇特;J·I·阿尔诺;P·J·马甘斯基;J·D·斯威尼;S·M·威尔逊;S·E·毕夏普;G·尼尔森;J·D·卡拉瑟斯;S·N·叶德弗;唐瀛;J·德普雷斯;B·钱伯斯;R·雷;D·埃尔策 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-07-08 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： F17C7/00 文献下载
摘要：本发明描述了不同类型的流体供应组件，所述流体供应组件用于输送流体到流体利用设施，例如半导体制造设施、太阳能电池板制造设施及平板显示器制造设施。所述流体供应组件包含流体供应容器及多种配置的阀头，可用于构成特性为压力调节式及/或吸附剂式的流体供应组件。
流体供应组件

[发明专利]压力调节流体贮存和输送容器的抗尖峰压力管理-CN201380060894.7有效
发明人： J·R·德普雷斯;J·D·斯威尼;E·E·琼斯;M·B·多纳塔奇;C·派迪;E·A·斯特姆;B·L·钱伯斯;G·S·鲍姆加特 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2013-09-20 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： F17C13/04 文献下载
摘要：一种流体供给封装包，包括一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。
压力调节流体贮存输送容器尖峰管理

[发明专利]智能封装-CN201680015492.9在审
发明人： J·D·斯威尼;E·E·琼斯;J·R·德普雷斯;R·S·雷;P·C·范·伯斯凯尔;E·A·斯特姆;C·斯坎内尔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-02-12 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： G06Q50/04 文献下载
摘要：本发明描述一种流体供应封装，所述流体供应封装包含流体存储与施配容器，及耦合到所述容器且经配置以达成在施配条件下从所述容器排放流体的流体施配组合件，其中所述流体供应封装在其上包含信息扩充装置，例如，快速读取QR码及RFID标签中的至少一者，以用于所述封装的信息扩充。本发明描述工艺系统，所述工艺系统包含工艺工具及上述类型的一或多个流体供应封装，其中所述工艺工具经配置以用于与所述流体供应封装进行通信交互。本发明描述各种通信布置，所述通信布置有效地用以增强其中采用上述类型的流体供应封装的工艺系统的效率及操作。
智能封装

[发明专利]乙炔的储存及稳定-CN201380031200.7有效
发明人： E·A·斯特姆;T·H·鲍姆;J·D·卡拉瑟斯 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2013-04-13 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明描述了适用于分解敏感性气体的吸附性储存及随后脱附性释放的碳吸附剂。该碳吸附剂包括中孔体积小于0.25cm³/g碳吸附剂的孔隙率，其中，该孔隙率包括至少80体积％的微孔，并且至少65体积％的微孔具有0.3至0.72nm的孔直径。该碳吸附剂具有在77°K下测定的大于800m²/g碳吸附剂的氮吸附BET表面积，及大于0.55g/cc碳吸附剂的堆积密度。碳吸附剂可于各种类型的气体储存及分配预装件中，以向诸如气体焊接/切割应用、原子吸收光谱应用、化学合成及微电子产品制造等应用提供诸如乙炔等分解敏感性气体的安全和可靠的来源。
乙炔储存稳定

[发明专利]供应用于熏蒸应用的磷化氢的系统和方法-CN201610282594.9在审
发明人： J·V·麦克马纳斯;E·A·斯特姆;T·H·鲍姆;J·D·卡拉瑟斯;J·B·斯威尼 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2012-06-12 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： B01J20/08 文献下载
摘要：生成和包装磷化氢气体的系统和方法，其中所述方法包括：使水与磷化铝反应以生成磷化氢，并使磷化氢以低于爆炸下限的磷化氢浓度提供在气体混合物中；从气体混合物中吸附移出磷化氢；以及将移出的磷化氢包装在流体存储和分配容器中。
供应用于熏蒸应用磷化氢系统方法

[发明专利]具有CO₂捕获作用的碳热解吸附剂及其制备方法和使用方法-CN201280015958.7有效
发明人： M·A·柏图斯卡;J·D·卡拉瑟斯;E·A·斯特姆;S·M·威尔逊;J·B·斯威尼 -专利权人：先进技术材料股份有限公司
申请日： 2012-01-29 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： B01J20/02 文献下载
摘要：一种微粒状的碳热解吸附剂，具有以下特征：(a)在1巴的压力和273K的温度下，CO2容量大于105cc/克;(b)CO2工作容量大于7.0重量%；(c)CO2吸附热和解吸热各自为10至50kJ/摩尔；以及(d)CO2/N2亨利定律分离因子大于5。该碳热解材料可由聚偏二氯乙烯系聚合物或共聚物或其他合适的树脂材料形成，以提供用于二氧化碳捕获应用、例如用于处理自燃煤发电厂的烟道气的吸附剂。
具有 co sub 捕获作用解吸及其制备方法使用方法

[发明专利]氙气和其他高价值化合物的回收-CN201180040844.3有效
发明人： T·H·鲍姆;J·D·卡拉瑟斯;R·弗里克;J·B·斯威尼;J·V·麦克马纳斯;E·A·斯特姆 -专利权人：先进技术材料股份有限公司
申请日： 2011-06-22 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： C01B23/00 文献下载
摘要：用于从含高价值气体、例如氙气的工艺流、材料或环境对其进行回收的系统和方法，通过将来自工艺流、材料或环境的气体与能有效吸附捕获高价值气体的碳吸附剂接触，以去除或降低所述工艺流、材料或环境的含高价值气体的气体中与高价值气体共存的流体物种的浓度。本文公开内容的其他方面包括氡气检测方法和产品。
氙气其他价值化合物回收

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